Влияние параметров магнетроного осаждения на стехиометрию покрытий оксида меди, полученных в металлическом режиме; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика

Bibliografske podrobnosti
Parent link:Курзина, И. А. (химик ; 1972-). Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XX Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 25-28 апреля 2023 г..— .— Томск: Изд-во ТПУ, 2023
Т. 1 : Физика.— 2023.— С. 111-113
Glavni avtor: Воронина Е. Д. Екатерина Дмитриевна
Korporativna značnica: Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Отделение экспериментальной физики
Drugi avtorji: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович (научный руководитель)
Izvleček:Заглавие с экрана
CuOx coatings were obtained by magnetron deposition using a metallic mode by changing an oxygen flow rate, target power density and rotation rate of planetary substrate-holder. It is shown the possibility of controlling the elemental and phase compositions of the CuOx coatings by changing operation parameters
Текстовый файл
Jezik:ruščina
Izdano: 2023
Teme:
Online dostop:http://earchive.tpu.ru/handle/11683/80785
Format: Elektronski Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=672302

MARC

LEADER 00000naa2a2200000 4500
001 672302
005 20241031143246.0
090 |a 672302 
100 |a 20240416d2023 k||y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
135 |a drcn ---uucaa 
200 1 |a Влияние параметров магнетроного осаждения на стехиометрию покрытий оксида меди, полученных в металлическом режиме  |f Е. Д. Воронина  |g науч. рук. Д. В. Сиделёв ; Инженерная школа ядерных технологий НИ ТПУ  |d The influence of magnetron deposition parameters on the stoichiometry of copper oxide coatings obtained using a metallic mode  |z eng 
300 |a Заглавие с экрана 
320 |a Библиография: с. 113 
330 |a CuOx coatings were obtained by magnetron deposition using a metallic mode by changing an oxygen flow rate, target power density and rotation rate of planetary substrate-holder. It is shown the possibility of controlling the elemental and phase compositions of the CuOx coatings by changing operation parameters 
336 |a Текстовый файл 
461 1 |0 636133  |t Перспективы развития фундаментальных наук  |l Prospects of Fundamental Sciences Development  |o сборник научных трудов XX Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 25-28 апреля 2023 г.  |d 2023  |9 636133  |a Курзина, И. А. (химик ; 1972-)  |c Томск  |n Изд-во ТПУ 
463 1 |0 669915  |t Т. 1 : Физика  |v С. 111-113  |d 2023  |9 669915  |p 1 файл (75,9 MB, 442 с.)  |u conference_tpu-2023-C21_V1.pdf  |l Volume 1. Physics 
610 1 |a труды учёных ТПУ 
610 1 |a электронный ресурс 
610 1 |a полупроводники 
610 1 |a p-n диоды 
610 1 |a фотокатализаторы 
610 1 |a стехиометрия 
610 1 |a скорость осаждения покрытий 
610 1 |a аргон 
610 1 |a кислород 
700 1 |a Воронина  |b Е. Д.  |c специалист в области ядерных технологий  |c инженер Томского политехнического университета  |f 2000-  |g Екатерина Дмитриевна  |9 22933 
702 1 |a Сиделёв  |b Д. В.  |c физик  |c инженер кафедры Томского политехнического университета  |f 1991-  |g Дмитрий Владимирович  |4 727 
712 0 2 |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет  |b Инженерная школа ядерных технологий  |b Отделение экспериментальной физики  |9 28346 
801 0 |a RU  |b 63413507  |c 20240416  |g RCR 
856 4 |z http://earchive.tpu.ru/handle/11683/80785  |u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/80785 
942 |c CF