Влияние параметров магнетроного осаждения на стехиометрию покрытий оксида меди, полученных в металлическом режиме; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
| Parent link: | Курзина, И. А. (химик ; 1972-). Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XX Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 25-28 апреля 2023 г..— .— Томск: Изд-во ТПУ, 2023 Т. 1 : Физика.— 2023.— С. 111-113 |
|---|---|
| Glavni avtor: | |
| Korporativna značnica: | |
| Drugi avtorji: | |
| Izvleček: | Заглавие с экрана CuOx coatings were obtained by magnetron deposition using a metallic mode by changing an oxygen flow rate, target power density and rotation rate of planetary substrate-holder. It is shown the possibility of controlling the elemental and phase compositions of the CuOx coatings by changing operation parameters Текстовый файл |
| Jezik: | ruščina |
| Izdano: |
2023
|
| Teme: | |
| Online dostop: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/80785 |
| Format: | Elektronski Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=672302 |
MARC
| LEADER | 00000naa2a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 672302 | ||
| 005 | 20241031143246.0 | ||
| 090 | |a 672302 | ||
| 100 | |a 20240416d2023 k||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drcn ---uucaa | ||
| 200 | 1 | |a Влияние параметров магнетроного осаждения на стехиометрию покрытий оксида меди, полученных в металлическом режиме |f Е. Д. Воронина |g науч. рук. Д. В. Сиделёв ; Инженерная школа ядерных технологий НИ ТПУ |d The influence of magnetron deposition parameters on the stoichiometry of copper oxide coatings obtained using a metallic mode |z eng | |
| 300 | |a Заглавие с экрана | ||
| 320 | |a Библиография: с. 113 | ||
| 330 | |a CuOx coatings were obtained by magnetron deposition using a metallic mode by changing an oxygen flow rate, target power density and rotation rate of planetary substrate-holder. It is shown the possibility of controlling the elemental and phase compositions of the CuOx coatings by changing operation parameters | ||
| 336 | |a Текстовый файл | ||
| 461 | 1 | |0 636133 |t Перспективы развития фундаментальных наук |l Prospects of Fundamental Sciences Development |o сборник научных трудов XX Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 25-28 апреля 2023 г. |d 2023 |9 636133 |a Курзина, И. А. (химик ; 1972-) |c Томск |n Изд-во ТПУ | |
| 463 | 1 | |0 669915 |t Т. 1 : Физика |v С. 111-113 |d 2023 |9 669915 |p 1 файл (75,9 MB, 442 с.) |u conference_tpu-2023-C21_V1.pdf |l Volume 1. Physics | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a полупроводники | |
| 610 | 1 | |a p-n диоды | |
| 610 | 1 | |a фотокатализаторы | |
| 610 | 1 | |a стехиометрия | |
| 610 | 1 | |a скорость осаждения покрытий | |
| 610 | 1 | |a аргон | |
| 610 | 1 | |a кислород | |
| 700 | 1 | |a Воронина |b Е. Д. |c специалист в области ядерных технологий |c инженер Томского политехнического университета |f 2000- |g Екатерина Дмитриевна |9 22933 | |
| 702 | 1 | |a Сиделёв |b Д. В. |c физик |c инженер кафедры Томского политехнического университета |f 1991- |g Дмитрий Владимирович |4 727 | |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет |b Инженерная школа ядерных технологий |b Отделение экспериментальной физики |9 28346 |
| 801 | 0 | |a RU |b 63413507 |c 20240416 |g RCR | |
| 856 | 4 | |z http://earchive.tpu.ru/handle/11683/80785 |u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/80785 | |
| 942 | |c CF | ||