Воронина Е. Д. Екатерина Дмитриевна & Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович. (2023). Влияние параметров магнетроного осаждения на стехиометрию покрытий оксида меди, полученных в металлическом режиме; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1: Физика. 2023.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Воронина Е. Д. Екатерина Дмитриевна und Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович. Влияние параметров магнетроного осаждения на стехиометрию покрытий оксида меди, полученных в металлическом режиме; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1: Физика. 2023, 2023.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Воронина Е. Д. Екатерина Дмитриевна und Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович. Влияние параметров магнетроного осаждения на стехиометрию покрытий оксида меди, полученных в металлическом режиме; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1: Физика. 2023, 2023.