Воронина Е. Д. Екатерина Дмитриевна & Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович. (2023). Влияние параметров магнетроного осаждения на стехиометрию покрытий оксида меди, полученных в металлическом режиме; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1: Физика. 2023.
Chicago Style (17th ed.) CitationВоронина Е. Д. Екатерина Дмитриевна and Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович. Влияние параметров магнетроного осаждения на стехиометрию покрытий оксида меди, полученных в металлическом режиме; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1: Физика. 2023, 2023.
MLA (9th ed.) CitationВоронина Е. Д. Екатерина Дмитриевна and Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович. Влияние параметров магнетроного осаждения на стехиометрию покрытий оксида меди, полученных в металлическом режиме; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1: Физика. 2023, 2023.