|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
670706 |
| 005 |
20240606134729.0 |
| 090 |
|
|
|a 670706
|
| 100 |
|
|
|a 20240214d2023 k||y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a dm 001yy
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|b e
|
| 182 |
|
0 |
|a n
|
| 183 |
|
0 |
|a nc
|2 RDAcarrier
|
| 200 |
1 |
|
|a Структурные и электрофизические свойства плёнок нестехиометрических оксидов гафния, циркония и тантала, синтезированных методом ионно-лучевого распыления
|e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
|e спец. 1.3.8
|f Герасимова Алина Константиновна
|g науч. рук. Гриценко В. А. ; Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН
|
| 203 |
|
|
|a Текст
|b визуальный
|c непосредственный
|
| 210 |
|
1 |
|a Новосибирск
|d 2023
|
| 215 |
|
|
|a 26 с.
|c ил.
|
| 283 |
|
|
|a volume
|2 RDAcarrier
|
| 300 |
|
|
|a Защита сост. 26.12.2023
|
| 320 |
|
|
|a Список литературы: с. 25-26
|
| 333 |
|
|
|a На правах рукописи
|
| 606 |
1 |
|
|a Пленки тонкие
|x Исследование
|x (твердые тела)
|9 85637
|
| 610 |
1 |
|
|a пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a гафний
|
| 610 |
1 |
|
|a нестехиометрические оксиды
|
| 610 |
1 |
|
|a цирконий
|
| 610 |
1 |
|
|a тантал
|
| 610 |
1 |
|
|a структурные свойства
|
| 610 |
1 |
|
|a электрофизические свойства
|
| 610 |
1 |
|
|a ионно-лучевое распыление
|
| 610 |
1 |
|
|a авторефераты диссертаций
|
| 675 |
|
|
|a 539.216.2(04)
|v 4
|
| 686 |
|
|
|2 oksvnk
|a 01.04.07
|
| 700 |
|
1 |
|a Герасимова
|b А. А.
|g Алина Константиновна
|
| 702 |
|
1 |
|4 727
|a Гриценко
|b В. А.
|g Владимир Алексеевич
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Российская академия наук
|b Сибирское отделение
|b Институт физики полупроводников
|c (Новосибирск)
|9 23267
|4 570
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b 63413507
|c 20240214
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
