Структурные и электрофизические свойства плёнок нестехиометрических оксидов гафния, циркония и тантала, синтезированных методом ионно-лучевого распыления, автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук

Bibliographic Details
Main Author:	Герасимова А. А. Алина Константиновна
Corporate Author:	Российская академия наук Сибирское отделение Институт физики полупроводников (570)
Other Authors:	Гриценко В. А. Владимир Алексеевич (727)
Summary:	Защита сост. 26.12.2023 На правах рукописи
Published:	Новосибирск, 2023
Subjects:	пленки гафний нестехиометрические оксиды цирконий тантал структурные свойства электрофизические свойства ионно-лучевое распыление авторефераты диссертаций
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=670706

Similar Items