Плазмодинамический синтез в системе Si-C при различном соотношении прекурсоров

Bibliographic Details
Parent link:Физика твердого тела: сборник материалов XVI Российской научной студенческой конференции, Томск, 17-20 Апреля 2018/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ). [С. 220-221].— , 2018
Main Author: Насырбаев А. Артур
Corporate Author: Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа энергетики Отделение электроэнергетики и электротехники (ОЭЭ)
Other Authors: Погорелова С. Софья, Никитин Д. С. Дмитрий Сергеевич
Summary:Заглавие с экрана
Published: 2018
Series:Физика полупроводников и диэлектриков
Subjects:
Online Access:https://www.elibrary.ru/item.asp?id=35029053
Format: Electronic Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=667386