Плазмодинамический синтез в системе Si-C при различном соотношении прекурсоров
| Parent link: | Физика твердого тела: сборник материалов XVI Российской научной студенческой конференции, Томск, 17-20 Апреля 2018/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ). [С. 220-221].— , 2018 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Corporate Author: | |
| Other Authors: | , |
| Summary: | Заглавие с экрана |
| Published: |
2018
|
| Series: | Физика полупроводников и диэлектриков |
| Subjects: | |
| Online Access: | https://www.elibrary.ru/item.asp?id=35029053 |
| Format: | Electronic Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=667386 |