Исследование влияния режимов осаждения пленок алмазоподобного углерода на их физико-механические характеристики

Исследование влияния режимов осаждения пленок алмазоподобного углерода на их физико-механические характеристики

Библиографические подробности
Источник:	Прикладная физика.— , 1994- № 6.— 2021.— [С. 58-62]
Автор-организация:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга
Другие авторы:	Рунц А. А. Артем Алексеевич, Ручкин С. Е. Сергей Евгеньевич, Жидик Ю. С. Юрий Сергеевич, Юрьева А. В. Алена Викторовна, Полосухина М. И. Мария Ивановна
Примечания:	Заглавие с экрана Представлены результаты отработки режимов осаждения пленок алмазоподобного углерода на поверхность подложек из нержавеющей стали при разных параметрах процесса, проведена количественная оценка содержания sp3-связей и физико-меха- нических характеристик полученных покрытий, сформулирован вывод о влиянии технологических параметров процесса осаждения на данные характеристики. The paper presents the results of testing the technology of deposition of diamond-like carbon films on the surface of stainless steel substrates at different process parameters, a quantitative assessment of the sp3 bond content and the physical and mechanical characteristics of the coatings obtained, a conclusion about the influence of the deposition process technological parameters on these characteristics is formulated. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Опубликовано:	2021
Предметы:	электронный ресурс труды учёных ТПУ вакуумно-дуговые испарения пленки осаждение алмазоподобный углерод физико-механические характеристики интегральные схемы pulsed vacuum arc evaporation DLC films integrated circuits
Online-ссылка:	https://doi.org/10.51368/1996-0948-2021-6-58-62 https://www.elibrary.ru/item.asp?id=43064331
Формат:	Электронный ресурс Статья
Запись в KOHA:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=667029

Схожие документы

The phase and elemental co mposition of fil tered arc evaporated TiAlN coatings using separate cathodes
Опубликовано: (2016)

Физические принципы осаждения из газовой фазы аморфных, нанокристаллических и микрокристаллических пленок алмазоподобного углерода и карбида кремния автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук Спец. 01.04.07
по: Тарала В. А. Виталий Алексеевич
Опубликовано: (Нальчик, 2013)

The Deposition of Silicon-Carbon Coatings in Plasma Based Nonself-Sustained Arc Discharge with Heated Cathode
Опубликовано: (2016)

Зависимость механических свойств плёнок углерода от параметров источника питания
по: Лазарев А. В.
Опубликовано: (2016)

A Study of Transient Processes in a High-Current Vacuum-Arc Anode Spot Using High-Speed Spectroscopy and Videorecording
Опубликовано: (2021)

Влияние предварительного легирования подложки на свойства вакуумно-дуговых нитридных покрытий
по: Ильина А. С. Александра Сергеевна
Опубликовано: (2016)

High-intensity ion beams with submillisecond duration for synergistic of ion implantation and energy impact on the surface
Опубликовано: (2022)

A Strategy for Alleviating Micro Arcing during HiPIMS Deposition of DLC Coatings
Опубликовано: (2020)

Joint influence of steered vacuum arc and negative repetitively pulsed bias on titanium macroparticles suppression
Опубликовано: (2016)

Свойства покрытий TiAlN, полученных методом вакуумно-дугового испарения
по: Гусс Л. Е.
Опубликовано: (2019)

High intensity plasma immersion metal ion beam source for surface modification of materials
Опубликовано: (2016)

Accumulation of macroparticles on a substrate in vacuum arc titanium plasma
Опубликовано: (2014)

Influence of Repetitively Pulsed Negative Bias Parameters on Macroparticle Surface Density
Опубликовано: (2016)

Experimental Study and Mathematical Modeling of the Processes Occurring in ZrN Coating/Silumin Substrate Systems under Pulsed Electron Beam Irradiation
Опубликовано: (2021)

Structure and Properties of CrN/TiN Multi-Layer Coatings Obtained by Vacuum-Arc Plasma-Assisted Deposition Method
Опубликовано: (2023)

Influence of repetitively-pulsed plasma immersion low energy on implantation to tin coating properties formation
Опубликовано: (2016)

Формирование на поверхности полимерных мембран DLC покрытия для приложений сердечно-сосудистой хирургии
по: Просецкая Е. А. Елизавета Алексеевна
Опубликовано: (2023)

Синтез и свойства многослойных и градиентных покрытий
по: Крысина О. В.
Опубликовано: (2017)

О возможности синтеза фуллеренов и алмазоподобных структур в струе углеродной плазмы
по: Макарова А. Ф.
Опубликовано: (2013)

Special Aspects of High-Intensity Low-Energy Ion Implantation
Опубликовано: (2021)

Thermionic Vacuum Arc-A Versatile Technology for Thin Film Deposition and Its Applications
Опубликовано: (2020)

Synthesis of silicon carbide using an AC atmospheric-pressure arc reactor
Опубликовано: (2024)

Computation of the impedance of a vacuum electron diode with emission current delay
по: Egorov I. S. Ivan Sergeevich
Опубликовано: (2019)

Numerical Simulation of Thermal Processes in Welding with Pulsed Electrode Wire Feeding
Опубликовано: (2018)

Нитридные покрытия, получаемые вакуумно-дуговым методом с помощью порошковых катодов
по: Гуммер З. И.
Опубликовано: (2008)

Электродуговой синтез карбида вольфрама из рудных концентратов
по: Пак А. Я. Александр Яковлевич
Опубликовано: (2021)

Научные и технологические принципы нанесения покрытий методами физического и химического осаждения : методы получения и исследования покрытий практикум
по: Кирюханцев-Корнеев Ф. В.
Опубликовано: (Москва, МИСИС, 2015)

X-ray radiography of aluminum cathodes eroded in high-current vacuum arcs
Опубликовано: (2019)

Formation of High-Power Pulsed Titanium Ion Beams of Submillisecond Duration from Vacuum Arc Plasma
Опубликовано: (2023)

Получение диборида циркония безвакуумным электродуговым методом
по: Кузнецова А. А.
Опубликовано: (2024)

Simulation and experimental studies on the formation of high-power titanium ion beams for the synergy of ion implantation and energy impact on the surface
Опубликовано: (2022)

Коммутационные испытания экспериментального вакуумного выключателя
по: Лавринович В. А. Валерий Александрович
Опубликовано: (2016)

Macroparticles number density decreasing on a substrate immersed in vacuum arc plasma at repetitively pulsed biasing
Опубликовано: (2014)

High-Intensity Titanium Ion Implantation into Aluminum under Conditions of Repetitively-Pulsed Energy Impact of a Beam on the Surface
по: Zaytsev D. D. Daniil Dmitrievich
Опубликовано: (2024)

Синтез покрытий TiAlSiN вакуумно-дуговым методом и их основные характеристики
по: Куренбай А.
Опубликовано: (2016)

Physical and Mechanical Properties of CrN/AlN Coating Obtained by Vacuum-Arc Deposition with Alternative Separation of Hard Substance Flows
Опубликовано: (2024)

Spatial stabilization of arc discharges in pulsed gas tungsten arc welding
Опубликовано: (2024)

Formation, Focusing and Transport of Highintensity, Low-Energy Metal Ion Beams
Опубликовано: (2021)

Comparative Analysis of the Rayleigh-Taylor Instability Suppression During Compression of Metallic Gas-Puff Z Pinch at the MIG and GIT-12 Facilities
Опубликовано: (2020)

Formation and Dynamics of the Current Sheath in the Plasma Shell of a Z-Pinch in the Microsecond Implosion Regime
Опубликовано: (2020)