Исследование влияния режимов осаждения пленок алмазоподобного углерода на их физико-механические характеристики

Исследование влияния режимов осаждения пленок алмазоподобного углерода на их физико-механические характеристики

Bibliografiske detaljer
Parent link:	Прикладная физика.— , 1994- № 6.— 2021.— [С. 58-62]
Institution som forfatter:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга
Andre forfattere:	Рунц А. А. Артем Алексеевич, Ручкин С. Е. Сергей Евгеньевич, Жидик Ю. С. Юрий Сергеевич, Юрьева А. В. Алена Викторовна, Полосухина М. И. Мария Ивановна
Summary:	Заглавие с экрана Представлены результаты отработки режимов осаждения пленок алмазоподобного углерода на поверхность подложек из нержавеющей стали при разных параметрах процесса, проведена количественная оценка содержания sp3-связей и физико-меха- нических характеристик полученных покрытий, сформулирован вывод о влиянии технологических параметров процесса осаждения на данные характеристики. The paper presents the results of testing the technology of deposition of diamond-like carbon films on the surface of stainless steel substrates at different process parameters, a quantitative assessment of the sp3 bond content and the physical and mechanical characteristics of the coatings obtained, a conclusion about the influence of the deposition process technological parameters on these characteristics is formulated. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Udgivet:	2021
Fag:	электронный ресурс труды учёных ТПУ вакуумно-дуговые испарения пленки осаждение алмазоподобный углерод физико-механические характеристики интегральные схемы pulsed vacuum arc evaporation DLC films integrated circuits
Online adgang:	https://doi.org/10.51368/1996-0948-2021-6-58-62 https://www.elibrary.ru/item.asp?id=43064331
Format:	Electronisk Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=667029

Lignende værker

The Deposition of Silicon-Carbon Coatings in Plasma Based Nonself-Sustained Arc Discharge with Heated Cathode
Udgivet: (2016)

Зависимость механических свойств плёнок углерода от параметров источника питания
af: Лазарев А. В.
Udgivet: (2016)

A Study of Transient Processes in a High-Current Vacuum-Arc Anode Spot Using High-Speed Spectroscopy and Videorecording
Udgivet: (2021)

Физические принципы осаждения из газовой фазы аморфных, нанокристаллических и микрокристаллических пленок алмазоподобного углерода и карбида кремния автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук Спец. 01.04.07
af: Тарала В. А. Виталий Алексеевич
Udgivet: (Нальчик, 2013)

The phase and elemental co mposition of fil tered arc evaporated TiAlN coatings using separate cathodes
Udgivet: (2016)

Свойства покрытий TiAlN, полученных методом вакуумно-дугового испарения
af: Гусс Л. Е.
Udgivet: (2019)

Влияние предварительного легирования подложки на свойства вакуумно-дуговых нитридных покрытий
af: Ильина А. С. Александра Сергеевна
Udgivet: (2016)

High-intensity ion beams with submillisecond duration for synergistic of ion implantation and energy impact on the surface
Udgivet: (2022)

Joint influence of steered vacuum arc and negative repetitively pulsed bias on titanium macroparticles suppression
Udgivet: (2016)

High intensity plasma immersion metal ion beam source for surface modification of materials
Udgivet: (2016)

Accumulation of macroparticles on a substrate in vacuum arc titanium plasma
Udgivet: (2014)

A Strategy for Alleviating Micro Arcing during HiPIMS Deposition of DLC Coatings
Udgivet: (2020)

Influence of Repetitively Pulsed Negative Bias Parameters on Macroparticle Surface Density
Udgivet: (2016)

Structure and Properties of CrN/TiN Multi-Layer Coatings Obtained by Vacuum-Arc Plasma-Assisted Deposition Method
Udgivet: (2023)

Experimental Study and Mathematical Modeling of the Processes Occurring in ZrN Coating/Silumin Substrate Systems under Pulsed Electron Beam Irradiation
Udgivet: (2021)

Формирование на поверхности полимерных мембран DLC покрытия для приложений сердечно-сосудистой хирургии
af: Просецкая Е. А. Елизавета Алексеевна
Udgivet: (2023)

Influence of repetitively-pulsed plasma immersion low energy on implantation to tin coating properties formation
Udgivet: (2016)

О возможности синтеза фуллеренов и алмазоподобных структур в струе углеродной плазмы
af: Макарова А. Ф.
Udgivet: (2013)

Thermionic Vacuum Arc-A Versatile Technology for Thin Film Deposition and Its Applications
Udgivet: (2020)

Special Aspects of High-Intensity Low-Energy Ion Implantation
Udgivet: (2021)

Synthesis of silicon carbide using an AC atmospheric-pressure arc reactor
Udgivet: (2024)

Computation of the impedance of a vacuum electron diode with emission current delay
af: Egorov I. S. Ivan Sergeevich
Udgivet: (2019)

Evaporation of a water layer under local non-isothermal heating
Udgivet: (2023)

Numerical Simulation of Thermal Processes in Welding with Pulsed Electrode Wire Feeding
Udgivet: (2018)

Formation of High-Power Pulsed Titanium Ion Beams of Submillisecond Duration from Vacuum Arc Plasma
Udgivet: (2023)

X-ray radiography of aluminum cathodes eroded in high-current vacuum arcs
Udgivet: (2019)

Научные и технологические принципы нанесения покрытий методами физического и химического осаждения : методы получения и исследования покрытий практикум
af: Кирюханцев-Корнеев Ф. В.
Udgivet: (Москва, МИСИС, 2015)

Электродуговой синтез карбида вольфрама из рудных концентратов
af: Пак А. Я. Александр Яковлевич
Udgivet: (2021)

Macroparticles number density decreasing on a substrate immersed in vacuum arc plasma at repetitively pulsed biasing
Udgivet: (2014)

Коммутационные испытания экспериментального вакуумного выключателя
af: Лавринович В. А. Валерий Александрович
Udgivet: (2016)

Simulation and experimental studies on the formation of high-power titanium ion beams for the synergy of ion implantation and energy impact on the surface
Udgivet: (2022)

Получение диборида циркония безвакуумным электродуговым методом
af: Кузнецова А. А.
Udgivet: (2024)

High-Intensity Titanium Ion Implantation into Aluminum under Conditions of Repetitively-Pulsed Energy Impact of a Beam on the Surface
af: Zaytsev D. D. Daniil Dmitrievich
Udgivet: (2024)

Control of Vacuum Arc Macroparticles by High-Frequency Short-Pulsed Negative Bias Application
af: Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich
Udgivet: (2015)

Spatial stabilization of arc discharges in pulsed gas tungsten arc welding
Udgivet: (2024)

Physical and Mechanical Properties of CrN/AlN Coating Obtained by Vacuum-Arc Deposition with Alternative Separation of Hard Substance Flows
Udgivet: (2024)

Influence of the plasma-immersion ion implantation of titanium on the structure, morphology, and composition of the surface layer of Zr–1Nb alloy
Udgivet: (2017)

Plasma diagnostics and characterization of the Mg and Mg–Zn thin films deposited by thermionic vacuum arc (TVA) method
Udgivet: (2019)

Formation and Dynamics of the Current Sheath in the Plasma Shell of a Z-Pinch in the Microsecond Implosion Regime
Udgivet: (2020)

Comparative Analysis of the Rayleigh-Taylor Instability Suppression During Compression of Metallic Gas-Puff Z Pinch at the MIG and GIT-12 Facilities
Udgivet: (2020)