Исследование влияния режимов осаждения пленок алмазоподобного углерода на их физико-механические характеристики; Прикладная физика; № 6

Исследование влияния режимов осаждения пленок алмазоподобного углерода на их физико-механические характеристики; Прикладная физика; № 6

Bibliografske podrobnosti
Parent link:	Прикладная физика.— , 1994- № 6.— 2021.— [С. 58-62]
Korporativna značnica:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга
Drugi avtorji:	Рунц А. А. Артем Алексеевич, Ручкин С. Е. Сергей Евгеньевич, Жидик Ю. С. Юрий Сергеевич, Юрьева А. В. Алена Викторовна, Полосухина М. И. Мария Ивановна
Izvleček:	Заглавие с экрана Представлены результаты отработки режимов осаждения пленок алмазоподобного углерода на поверхность подложек из нержавеющей стали при разных параметрах процесса, проведена количественная оценка содержания sp3-связей и физико-меха- нических характеристик полученных покрытий, сформулирован вывод о влиянии технологических параметров процесса осаждения на данные характеристики. The paper presents the results of testing the technology of deposition of diamond-like carbon films on the surface of stainless steel substrates at different process parameters, a quantitative assessment of the sp3 bond content and the physical and mechanical characteristics of the coatings obtained, a conclusion about the influence of the deposition process technological parameters on these characteristics is formulated. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Jezik:	ruščina
Izdano:	2021
Teme:	электронный ресурс труды учёных ТПУ вакуумно-дуговые испарения пленки осаждение алмазоподобный углерод физико-механические характеристики интегральные схемы pulsed vacuum arc evaporation DLC films integrated circuits
Online dostop:	https://doi.org/10.51368/1996-0948-2021-6-58-62 https://www.elibrary.ru/item.asp?id=43064331
Format:	Elektronski Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=667029

Podobne knjige/članki

Физические принципы осаждения из газовой фазы аморфных, нанокристаллических и микрокристаллических пленок алмазоподобного углерода и карбида кремния: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук; Спец. 01.04.07
od: Тарала В. А. Виталий Алексеевич
Izdano: (Нальчик, 2013)

The phase and elemental co mposition of fil tered arc evaporated TiAlN coatings using separate cathodes; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
Izdano: (2016)

The Deposition of Silicon-Carbon Coatings in Plasma Based Nonself-Sustained Arc Discharge with Heated Cathode; Key Engineering Materials; Vol. 685 : High Technology: Research and Applications 2015 (HTRA 2015)
Izdano: (2016)

A Study of Transient Processes in a High-Current Vacuum-Arc Anode Spot Using High-Speed Spectroscopy and Videorecording; Russian Physics Journal; Vol. 64, iss. 1
Izdano: (2021)

Зависимость механических свойств плёнок углерода от параметров источника питания; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
od: Лазарев А. В.
Izdano: (2016)

Влияние предварительного легирования подложки на свойства вакуумно-дуговых нитридных покрытий; Известия вузов. Физика; Т. 59, № 7, ч.2
od: Ильина А. С. Александра Сергеевна
Izdano: (2016)

High-intensity ion beams with submillisecond duration for synergistic of ion implantation and energy impact on the surface; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE); International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows (16th CMM)
Izdano: (2022)

A Strategy for Alleviating Micro Arcing during HiPIMS Deposition of DLC Coatings; Materials; Vol. 13, iss. 5
Izdano: (2020)

Joint influence of steered vacuum arc and negative repetitively pulsed bias on titanium macroparticles suppression; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
Izdano: (2016)

Свойства покрытий TiAlN, полученных методом вакуумно-дугового испарения; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине (ФТПНПМ-2019)
od: Гусс Л. Е.
Izdano: (2019)

High intensity plasma immersion metal ion beam source for surface modification of materials; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
Izdano: (2016)

Accumulation of macroparticles on a substrate in vacuum arc titanium plasma; Известия вузов. Физика; Т. 57, № 12, ч. 3
Izdano: (2014)

Influence of Repetitively Pulsed Negative Bias Parameters on Macroparticle Surface Density; Journal of Industrial Pollution Control; Vol. 32, iss. 2
Izdano: (2016)

Experimental Study and Mathematical Modeling of the Processes Occurring in ZrN Coating/Silumin Substrate Systems under Pulsed Electron Beam Irradiation; Coatings; Vol. 11, iss. 12
Izdano: (2021)

Structure and Properties of CrN/TiN Multi-Layer Coatings Obtained by Vacuum-Arc Plasma-Assisted Deposition Method; Coatings; Vol. 13, iss. 2
Izdano: (2023)

Формирование на поверхности полимерных мембран DLC покрытия для приложений сердечно-сосудистой хирургии; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
od: Просецкая Е. А. Елизавета Алексеевна
Izdano: (2023)

Синтез и свойства многослойных и градиентных покрытий; Современные технологии и материалы новых поколений
od: Крысина О. В.
Izdano: (2017)

Influence of repetitively-pulsed plasma immersion low energy on implantation to tin coating properties formation; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
Izdano: (2016)

О возможности синтеза фуллеренов и алмазоподобных структур в струе углеродной плазмы; Современные техника и технологии; Т. 2
od: Макарова А. Ф.
Izdano: (2013)

Special Aspects of High-Intensity Low-Energy Ion Implantation; Russian Physics Journal; Vol. 63, iss. 10
Izdano: (2021)

Thermionic Vacuum Arc-A Versatile Technology for Thin Film Deposition and Its Applications; Coatings; Vol. 10, iss. 3
Izdano: (2020)

Научные и технологические принципы нанесения покрытий методами физического и химического осаждения : методы получения и исследования покрытий практикум
od: Кирюханцев-Корнеев Ф. В.
Izdano: (Москва, МИСИС, 2015)

Synthesis of silicon carbide using an AC atmospheric-pressure arc reactor; Journal of Alloys and Compounds; Vol. 1003
Izdano: (2024)

Computation of the impedance of a vacuum electron diode with emission current delay; Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment; Vol. 921
od: Egorov I. S. Ivan Sergeevich
Izdano: (2019)

Numerical Simulation of Thermal Processes in Welding with Pulsed Electrode Wire Feeding; Materials Science Forum; Vol. 927 : Materials and Processing Technology II
Izdano: (2018)

Vacuum-free arc synthesis and characterization of crystalline molybdenum borides as instrumental material; Thermal Science and Engineering Progress; Vol. 67
Izdano: (2025)

Нитридные покрытия, получаемые вакуумно-дуговым методом с помощью порошковых катодов; Современные техника и технологии; Т. 2
od: Гуммер З. И.
Izdano: (2008)

X-ray radiography of aluminum cathodes eroded in high-current vacuum arcs; Current Applied Physics; Vol. 19, iss. 6
Izdano: (2019)

Formation of High-Power Pulsed Titanium Ion Beams of Submillisecond Duration from Vacuum Arc Plasma; Russian Physics Journal; Vol. 65, iss. 11
Izdano: (2023)

Электродуговой синтез карбида вольфрама из рудных концентратов; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]. Инжиниринг георесурсов; Т. 332, № 5
od: Пак А. Я. Александр Яковлевич
Izdano: (2021)

Macroparticles number density decreasing on a substrate immersed in vacuum arc plasma at repetitively pulsed biasing; Известия вузов. Физика; Т. 57, № 12/3
Izdano: (2014)

Получение диборида циркония безвакуумным электродуговым методом; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 2 : Химия
od: Кузнецова А. А.
Izdano: (2024)

Simulation and experimental studies on the formation of high-power titanium ion beams for the synergy of ion implantation and energy impact on the surface; Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms; Vol. 533
Izdano: (2022)

Oxidation Properties of High-Entropy Boride (Ti0.2Zr0.2Nb0.2Hf0.2Ta0.2)B2 Synthesized by DC Arc Discharge Plasma; Bulletin of the Russian Academy of Sciences: Physics; Vol. 89, Suppl. 2
Izdano: (2025)

Коммутационные испытания экспериментального вакуумного выключателя; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]. Инжиниринг георесурсов; Т. 327, № 10
od: Лавринович В. А. Валерий Александрович
Izdano: (2016)

Synthesis of Molybdenum Borides by the Impact of an A.C. Arc Discharge in Air; Journal of Engineering Physics and Thermophysics; Vol. 98, iss. 5
Izdano: (2025)

High-Intensity Titanium Ion Implantation into Aluminum under Conditions of Repetitively-Pulsed Energy Impact of a Beam on the Surface; Russian Physics Journal; Vol. 67, iss. 5
od: Zaytsev D. D. Daniil Dmitrievich
Izdano: (2024)

Spatial stabilization of arc discharges in pulsed gas tungsten arc welding; Welding in the World; Vol. 68, iss. 9
Izdano: (2024)

Physical and Mechanical Properties of CrN/AlN Coating Obtained by Vacuum-Arc Deposition with Alternative Separation of Hard Substance Flows; Russian Physics Journal; Vol. 66, iss. 11
Izdano: (2024)

Control of Vacuum Arc Macroparticles by High-Frequency Short-Pulsed Negative Bias Application; Indian Journal of Science and Technology; Vol. 8, iss. 36
od: Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich
Izdano: (2015)