Исследование влияния режимов осаждения пленок алмазоподобного углерода на их физико-механические характеристики; Прикладная физика; № 6
| Parent link: | Прикладная физика № 6.— 2021.— С. 58-62 |
|---|---|
| Beste egile batzuk: | , , , , |
| Gaia: | Заглавие с экрана Представлены результаты отработки режимов осаждения пленок алмазоподобного углерода на поверхность подложек из нержавеющей стали при разных параметрах процесса, проведена количественная оценка содержания sp3-связей и физико-меха- нических характеристик полученных покрытий, сформулирован вывод о влиянии технологических параметров процесса осаждения на данные характеристики The paper presents the results of testing the technology of deposition of diamond-like carbon films on the surface of stainless steel substrates at different process parameters, a quantitative assessment of the sp3 bond content and the physical and mechanical characteristics of the coatings obtained, a conclusion about the influence of the deposition process technological parameters on these characteristics is formulated |
| Hizkuntza: | errusiera |
| Argitaratua: |
2021
|
| Gaiak: | |
| Sarrera elektronikoa: | https://doi.org/10.51368/1996-0948-2021-6-58-62 https://www.elibrary.ru/item.asp?id=43064331 |
| Formatua: | Baliabide elektronikoa Liburu kapitulua |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=667029 |
MARC
| LEADER | 00000naa0a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 667029 | ||
| 005 | 20260709163739.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\network\38233 | ||
| 035 | |a RU\TPU\network\34860 | ||
| 090 | |a 667029 | ||
| 100 | |a 20220216d2021 k||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drcn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Исследование влияния режимов осаждения пленок алмазоподобного углерода на их физико-механические характеристики |d Study of the influence of diamond-like carbon film deposition technology on the change of its physical and mechanical characteristics |f А. А. Рунц, С. Е. Ручкин, Ю. С. Жидик [и др.] | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 300 | |a Заглавие с экрана | ||
| 320 | |a Библиогр.: 10 назв | ||
| 330 | |a Представлены результаты отработки режимов осаждения пленок алмазоподобного углерода на поверхность подложек из нержавеющей стали при разных параметрах процесса, проведена количественная оценка содержания sp3-связей и физико-меха- нических характеристик полученных покрытий, сформулирован вывод о влиянии технологических параметров процесса осаждения на данные характеристики | ||
| 330 | |a The paper presents the results of testing the technology of deposition of diamond-like carbon films on the surface of stainless steel substrates at different process parameters, a quantitative assessment of the sp3 bond content and the physical and mechanical characteristics of the coatings obtained, a conclusion about the influence of the deposition process technological parameters on these characteristics is formulated | ||
| 461 | 1 | |t Прикладная физика | |
| 463 | 1 | |t № 6 |v С. 58-62 |d 2021 | |
| 510 | 1 | |a Study of the influence of diamond-like carbon film deposition technology on the change of its physical and mechanical characteristics |z eng | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a вакуумно-дуговые испарения | |
| 610 | 1 | |a пленки | |
| 610 | 1 | |a осаждение | |
| 610 | 1 | |a алмазоподобный углерод | |
| 610 | 1 | |a физико-механические характеристики | |
| 610 | 1 | |a интегральные схемы | |
| 610 | 1 | |a pulsed vacuum arc evaporation | |
| 610 | 1 | |a DLC films | |
| 610 | 1 | |a integrated circuits | |
| 701 | 1 | |a Рунц |b А. А. |c физик |c инженер Томского политехнического университета |f 1998- |g Артем Алексеевич |9 89329 | |
| 701 | 1 | |a Ручкин |b С. Е. |c физик |c инженер-исследователь Томского политехнического университета |f 1998- |g Сергей Евгеньевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\46686 |9 22342 | |
| 701 | 1 | |a Жидик |b Ю. С. |g Юрий Сергеевич | |
| 701 | 1 | |a Юрьева |b А. В. |c специалист в области водородной энергетики и плазменных технологий |c доцент Томского политехнического университета, кандидат технических наук |f 1983- |g Алёна Викторовна |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\30232 |9 14612 | |
| 701 | 1 | |a Полосухина |b М. И. |g Мария Ивановна | |
| 801 | 1 | |a RU |b 63413507 |c 20141010 | |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20220216 |g RCR | |
| 856 | 4 | 0 | |u https://doi.org/10.51368/1996-0948-2021-6-58-62 |z https://doi.org/10.51368/1996-0948-2021-6-58-62 |
| 856 | 4 | 0 | |u https://www.elibrary.ru/item.asp?id=43064331 |z https://www.elibrary.ru/item.asp?id=43064331 |
| 942 | |c CF | ||