Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга, Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Отделение экспериментальной физики, Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich, Ruchkin S. E. Sergey Evgenjevich, Yuriev Yu. N. Yuri Nikolaevich, Lomygin A. D. Anton Dmitrievich, . . . Ukhanov S. Sergey. (2021). Stripping of carbon coatings in radio-frequency inductively coupled plasma of H2/Ar. 2021. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2021.127837
Chicago Style (17th ed.) CitationНациональный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга, Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Отделение экспериментальной физики, Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich, Ruchkin S. E. Sergey Evgenjevich, Yuriev Yu. N. Yuri Nikolaevich, Lomygin A. D. Anton Dmitrievich, Syrtanov M. S. Maksim Sergeevich, Stolbovskaya G. N. Galina Nikolaevna, and Ukhanov S. Sergey. Stripping of Carbon Coatings in Radio-frequency Inductively Coupled Plasma of H2/Ar. 2021, 2021. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2021.127837.
MLA (9th ed.) CitationНациональный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга, et al. Stripping of Carbon Coatings in Radio-frequency Inductively Coupled Plasma of H2/Ar. 2021, 2021. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2021.127837.