Способ переработки отходов, содержащих арсенид галлия

Bibliographic Details
Parent link:Сборник избранных статей по материалам научных конференций ГНИИ "Нацразвитие": сборник избранных статей Международной конференции "Технические и естественнные науки", Санкт-Петербург, 26-30 декабря 2018 года. [С. 176-178].— , 2019
Main Author: Семенова В. И. Валерия Игоревна
Corporate Author: Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа новых производственных технологий Научно-образовательный центр Н. М. Кижнера
Other Authors: Казьмина О. В. Ольга Викторовна
Summary:Заглавие с экрана
В работе представлены результаты переработки арсенида галлия, отходапервого класса опасности, образующегося при производстве полупроводниковых приборов.Полученный композиционный материал отвечает экологическим требованиям, чтоподтверждается данными биотестирования.
The results of processing first hazardous class waste with gallium arsenide contentpresents at this article. Waste is formed during manufacturing of semiconductor devices. Thecomposite material that obtained during research corresponds to environmental requirements, whichare confirmed by biotesting data.
Published: 2019
Subjects:
Online Access:https://elibrary.ru/item.asp?id=37058931
Format: Electronic Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=664682