Defect and ion distribution studies in ion-implanted silicon

Bibliographic Details
Parent link:	Slow Positron Beam Techniques and Applications (SLOPOS-15): Book of Abstracts 15th International Workshop, Prague, September 2-6, 2019. [P. 89].— , 2019
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Отделение экспериментальной физики
Other Authors:	Siemek K., Dryzek J., Mitura-Nowak M., Lomygin A. Anton
Summary:	Title screen
Published:	2019
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ
Online Access:	https://physics.mff.cuni.cz/kfnt/slopos/files/SLOPOS-15-book-of-abstracts.pdf#page=92
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=661412

Internet