Effect of working gas on the deposition rate of CaP coatings formed by radio frequency magnetron sputtering of a hydroxyapatite target
| Parent link: | Journal of Physics: Conference Series Vol. 1313 : 26th International Conference on Vacuum Technique and Technology.— 2019.— [012018, 4 р.] |
|---|---|
| Tác giả chính: | Fedotkin A. Yu. Aleksandr Yurjevich |
| Tác giả của công ty: | Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга |
| Tác giả khác: | Kozelskaya A. I. Anna Ivanovna, Tverdokhlebov S. I. Sergei Ivanovich |
| Tóm tắt: | Title screen This study is dedicated to the influence of the inert working gas on the deposition rate of CaP coatings formed by radio frequency magnetron sputtering of a hydroxyapatite target in Ar, Kr and Xe. The optical emission spectra of plasma, the elemental and phase composition of the formed coatings are investigated. The deposition rates of the CaP coatings formed in Ar and Kr are approximately comparable and higher than ones formed in Xe. |
| Được phát hành: |
2019
|
| Những chủ đề: | |
| Truy cập trực tuyến: | https://doi.org/10.1088/1742-6596/1313/1/012018 |
| Định dạng: | Điện tử Chương của sách |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=660990 |
Những quyển sách tương tự
Influence of magnesium and strontium substitutions in the structure of hydroxyapatite lattice on the deposition rate and properties of the CaP coatings formed via RF-sputtering of the powder targets
Được phát hành: (2021)
Được phát hành: (2021)
Formation of bioactive coatings by radio frequency magnetron sputtering using various calcium phosphate targets and working gases
Bằng: Fedotkin A. Yu. Aleksandr Yurjevich
Được phát hành: (2019)
Bằng: Fedotkin A. Yu. Aleksandr Yurjevich
Được phát hành: (2019)
Properties of CaP coatings produced by reactive RF-magnetron sputtering in a mixture of nitrogen and noble gases
Bằng: Fedotkin A. Yu. Aleksandr Yurjevich
Được phát hành: (2021)
Bằng: Fedotkin A. Yu. Aleksandr Yurjevich
Được phát hành: (2021)
Porous CaP Coatings Formed by Combination of Plasma Electrolytic Oxidation and RF-Magnetron Sputtering
Được phát hành: (2020)
Được phát hành: (2020)
Comparison Study on the Properties of the CaP Coatings Formed by RF-magnetron Sputtering of the Mg- and Sr-substituted [beta]-tricalcium Phosphate and Hydroxyapatite
Được phát hành: (2020)
Được phát hành: (2020)
Investigation of physical and mechanical properties of biocompatible coatings based on silver-hydroxyapatite deposited by radio-frequency magnetron sputtering
Bằng: Syromotina D. S.
Được phát hành: (2013)
Bằng: Syromotina D. S.
Được phát hành: (2013)
High-rate magnetron sputtering with hot target
Được phát hành: (2016)
Được phát hành: (2016)
Deposition of calcium phosphate coatings using radio frequency magnetron sputtering of substituted β-tricalcium phosphate targets
Được phát hành: (2018)
Được phát hành: (2018)
Radio frequency magnetron sputtering of Sr- and Mg-substituted ?-tricalcium phosphate: Analysis of the physicochemical properties and deposition rate of coatings
Được phát hành: (2020)
Được phát hành: (2020)
RF Magnetron Sputtering of Substituted Hydroxyapatite for Deposition of Biocoatings
Được phát hành: (2022)
Được phát hành: (2022)
The Application of Radio Frequency Magnetron Sputtering for Fluoropolymer Surface Modification
Bằng: Malchikhina A. I. Alena Igorevna
Được phát hành: (2014)
Bằng: Malchikhina A. I. Alena Igorevna
Được phát hành: (2014)
Comparative study of the radio-frequency magnetron sputter depositedCaP films fabricated onto acid-etched or pulsed electronbeam-treated titanium
Được phát hành: (2014)
Được phát hành: (2014)
High-rate deposition of chromium coatings by magnetron sputtering
Được phát hành: (2019)
Được phát hành: (2019)
Silicon-substituted hydroxyapatite coatings deposited by rf-magnetron sputtering
Được phát hành: (2009)
Được phát hành: (2009)
Hot target magnetron sputtering for ferromagnetic films deposition
Được phát hành: (2018)
Được phát hành: (2018)
Nickel and Chromium Deposition by Hot Target Magnetron Sputtering
Được phát hành: (2019)
Được phát hành: (2019)
The Influence of Radio Frequency Magnetron Sputtering on Biodegradable Polymers Surface Properties
Bằng: Malchikhina A. I. Alena Igorevna
Được phát hành: (2014)
Bằng: Malchikhina A. I. Alena Igorevna
Được phát hành: (2014)
Physical principles of radio-frequency magnetron sputter deposition of calcium-phosphate-based coating with tailored properties
Được phát hành: (2021)
Được phát hành: (2021)
Calcium phosphate coating deposition by radio frequency magnetron sputtering in the various inert gases: The pilot study
Được phát hành: (2019)
Được phát hành: (2019)
The properties of Cu films deposited by high rate magnetron sputtering from a liquid target
Được phát hành: (2019)
Được phát hành: (2019)
Texture and microstructure development in rf magnetron sputter deposited hydroxyapatite coatings
Được phát hành: (2016)
Được phát hành: (2016)
Surface properties changing of biodegradable polymers by the radio frequency magnetron sputtering modification
Bằng: Malchikhina A. I. Alena Igorevna
Được phát hành: (2014)
Bằng: Malchikhina A. I. Alena Igorevna
Được phát hành: (2014)
Wettability of Thin Silicate-Containing Hydroxyapatite Films Formed by RF-Magnetron Sputtering
Được phát hành: (2014)
Được phát hành: (2014)
Tribological behaviour of RF-magnetron sputter deposited hydroxyapatite coatings in physiological solution
Được phát hành: (2017)
Được phát hành: (2017)
Properties of RF-magnetron sputter deposited silver-doped hydroxyapatite-based coatings
Bằng: Мельников Е. С. Евгений Сергеевич
Được phát hành: (2015)
Bằng: Мельников Е. С. Евгений Сергеевич
Được phát hành: (2015)
Electrophoretic deposition and radio-frequency magnetron sputtering asmethods for modification of additive manufactured Ti-6Al-4V
Được phát hành: (2017)
Được phát hành: (2017)
Deposition of Cr films by hot target magnetron sputtering on biased substrates
Được phát hành: (2018)
Được phát hành: (2018)
Surface erosion of hot Cr target and deposition rates of Cr coatings in high power pulsed magnetron sputtering
Được phát hành: (2018)
Được phát hành: (2018)
Erratum to: Wettability of Thin Silicate-Containing Hydroxyapatite Films formed by RF-Magnetron Sputtering
Được phát hành: (2014)
Được phát hành: (2014)
Hydroxyapatite coating on biodegradable AZ31 and Mg-Ca alloys prepared by RF-magnetron sputtering
Được phát hành: (2015)
Được phát hành: (2015)
Influence of deposition conditions on the composition, texture and microstructure of RF-magnetron sputter-deposited hydroxyapatite thin films
Được phát hành: (2015)
Được phát hành: (2015)
Thin RF magnetron sputter deposited hydroxyapatite-based coating for permanent and biodegradable alloys
Được phát hành: (2015)
Được phát hành: (2015)
Nanostructured RF magnetron sputter deposited hydroxyapatite coating on the surface of permanent and biodegradable alloys
Được phát hành: (2015)
Được phát hành: (2015)
Correlation between structural and mechanical properties of RF magnetron sputter deposited hydroxyapatite coating
Được phát hành: (2018)
Được phát hành: (2018)
Features of copper coatings growth at high-rate deposition using magnetron sputtering systems with a liquid metal target
Được phát hành: (2017)
Được phát hành: (2017)
Enhancement of the mechanical properties of AZ31 magnesium alloy via nanostructured hydroxyapatite thin films fabricated via radio-frequency magnetron sputtering
Được phát hành: (2015)
Được phát hành: (2015)
Antibacterial AgNPs/CaP biocomposites
Được phát hành: (2014)
Được phát hành: (2014)
Antibacterial AgNPs/CaP biocomposites
Được phát hành: (2014)
Được phát hành: (2014)
RF magnetron sputtering of a hydroxyapatite target: A comparison study on polytetrafluorethylene and titanium substrates
Được phát hành: (2017)
Được phát hành: (2017)
Magnetron deposition of coatings with evaporation of the target
Bằng: Bleykher (Bleicher) G. A. Galina Alekseevna
Được phát hành: (2015)
Bằng: Bleykher (Bleicher) G. A. Galina Alekseevna
Được phát hành: (2015)
Những quyển sách tương tự
-
Influence of magnesium and strontium substitutions in the structure of hydroxyapatite lattice on the deposition rate and properties of the CaP coatings formed via RF-sputtering of the powder targets
Được phát hành: (2021) -
Formation of bioactive coatings by radio frequency magnetron sputtering using various calcium phosphate targets and working gases
Bằng: Fedotkin A. Yu. Aleksandr Yurjevich
Được phát hành: (2019) -
Properties of CaP coatings produced by reactive RF-magnetron sputtering in a mixture of nitrogen and noble gases
Bằng: Fedotkin A. Yu. Aleksandr Yurjevich
Được phát hành: (2021) -
Porous CaP Coatings Formed by Combination of Plasma Electrolytic Oxidation and RF-Magnetron Sputtering
Được phát hành: (2020) -
Comparison Study on the Properties of the CaP Coatings Formed by RF-magnetron Sputtering of the Mg- and Sr-substituted [beta]-tricalcium Phosphate and Hydroxyapatite
Được phát hành: (2020)