Effect of Short-Pulsed 200 keV C+ Ion Beam and 350 keV He{2+} Ion Beam Irradiation on Optical Properties of Al-Si-N Coatings with a Various Si Content

Effect of Short-Pulsed 200 keV C+ Ion Beam and 350 keV He{2+} Ion Beam Irradiation on Optical Properties of Al-Si-N Coatings with a Various Si Content

Bibliografiske detaljer
Parent link:	Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2019): 21st International Conference, 25-30 August 2019, Tomsk, Russia/ National Research Tomsk Polytechnic University (TPU). [P. 152].— , 2019
Corporate Authors:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов, Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Отделение экспериментальной физики, Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа новых производственных технологий Научно-производственная лаборатория "Импульсно-пучковых, электроразрядных и плазменных технологий"
Andre forfattere:	Pavlov S. K. Sergey Konstantinovich, Konusov F. V. Fedor Valerievich, Lauk A. L. Aleksandr Lukyanovich, Syrtanov M. S. Maksim Sergeevich, Karpov S. P. Semen Petrovich, Karpov V. B. Valeriy Borisovich, Gadirov R. Ruslan, Kashkarov E. B. Egor Borisovich, Tarbokov V. A. Vladislav Aleksandrovich, Musil Y. Yindrikh, Remnev G. E. Gennady Efimovich
Summary:	Заглавие с экрана
Udgivet:	2019
Serier:	Defect Engineering, Nano-Science and Technology. Poster Session
Fag:	электронный ресурс труды учёных ТПУ ion beam Al-Si-N coatings radiation defects absorption ионные пучки поглощение радиационные дефекты покрытия оптические свойства подложки магнетронное распыление
Online adgang:	https://smmib.ru/assets/files/SMMIB2019_TOMSK_full.pdf#page=153
Format:	Electronisk Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=660895

Internet

https://smmib.ru/assets/files/SMMIB2019_TOMSK_full.pdf#page=153