Effect of 28 MeV He{2+} Ion Beam and Short-Pulsed 200 keV C{+} Ion Beam Irradiation on Optical Properties of Multilayer Al-Si-N Coatings

Bibliographic Details
Parent link:Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2019): 21st International Conference, 25-30 August 2019, Tomsk, Russia/ National Research Tomsk Polytechnic University (TPU). [P. 151].— , 2019
Corporate Authors: Национальный исследовательский Томский политехнический университет Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов, Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научная лаборатория радиоактивных веществ и технологий, Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа новых производственных технологий Научно-производственная лаборатория "Импульсно-пучковых, электроразрядных и плазменных технологий"
Other Authors: Pavlov S. K. Sergey Konstantinovich, Konusov F. V. Fedor Valerievich, Lauk A. L. Aleksandr Lukyanovich, Sokhoreva V. V. Valentina Viktorovna, Gadirov R. Ruslan, Tarbokov V. A. Vladislav Aleksandrovich
Summary:Заглавие с экрана
Language:English
Published: 2019
Series:Defect Engineering, Nano-Science and Technology. Poster Session
Subjects:
Online Access:https://smmib.ru/assets/files/SMMIB2019_TOMSK_full.pdf#page=152
Format: Electronic Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=660894

MARC

LEADER 00000nla2a2200000 4500
001 660894
005 20240704063105.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\network\31015 
035 |a RU\TPU\network\31013 
090 |a 660894 
100 |a 20191106a2019 k y0engy50 ba 
101 0 |a eng 
102 |a RU 
105 |a y z 100zy 
135 |a drgn ---uucaa 
181 0 |a i  
182 0 |a b 
200 1 |a Effect of 28 MeV He{2+} Ion Beam and Short-Pulsed 200 keV C{+} Ion Beam Irradiation on Optical Properties of Multilayer Al-Si-N Coatings  |f S. K. Pavlov [et al.] 
203 |a Text  |c electronic 
225 1 |a Defect Engineering, Nano-Science and Technology. Poster Session 
300 |a Заглавие с экрана 
463 0 |0 (RuTPU)RU\TPU\network\30793  |t Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2019)  |o 21st International Conference, 25-30 August 2019, Tomsk, Russia  |o abstract book  |f National Research Tomsk Polytechnic University (TPU)  |v [P. 151]  |d 2019 
610 1 |a электронный ресурс 
610 1 |a труды учёных ТПУ 
610 1 |a ion beam 
610 1 |a Al-Si-N coatings 
610 1 |a radiation defects 
610 1 |a absorption 
610 1 |a ионные пучки 
610 1 |a радиационные дефекты 
610 1 |a поглощение 
610 1 |a многослойные покрытия 
610 1 |a тонкие слои 
610 1 |a оптические свойства 
701 1 |a Pavlov  |b S. K.  |c physicist  |c Engineer of Tomsk Polytechnic University  |f 1990-  |g Sergey Konstantinovich  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\32875 
701 1 |a Konusov  |b F. V.  |c physicist  |c Lead Engineer of Tomsk Polytechnic University, Candidate of physical and mathematical sciences  |f 1958-  |g Fedor Valerievich  |y Tomsk  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\32570  |9 16491 
701 1 |a Lauk  |b A. L.  |c Physicist  |c Leading engineer of Tomsk Polytechnic University  |f 1957-  |g Aleksandr Lukyanovich  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\37675 
701 1 |a Sokhoreva  |b V. V.  |c physicist  |c Senior researcher of Tomsk Polytechnic University  |f 1944-  |g Valentina Viktorovna  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\31213  |9 15409 
701 1 |a Gadirov  |b R.  |g Ruslan 
701 1 |a Tarbokov  |b V. A.  |c specialist in the field of material science  |c Leading engineer of Tomsk Polytechnic University, Candidate of technical sciences  |f 1969-  |g Vladislav Aleksandrovich  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\41878 
712 0 2 |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет  |b Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов  |c (2017- )  |3 (RuTPU)RU\TPU\col\23551 
712 0 2 |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет  |b Инженерная школа ядерных технологий  |b Научная лаборатория радиоактивных веществ и технологий  |3 (RuTPU)RU\TPU\col\25818 
712 0 2 |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет  |b Инженерная школа новых производственных технологий  |b Научно-производственная лаборатория "Импульсно-пучковых, электроразрядных и плазменных технологий"  |3 (RuTPU)RU\TPU\col\23502 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20191106  |g RCR 
856 4 |u https://smmib.ru/assets/files/SMMIB2019_TOMSK_full.pdf#page=152 
942 |c CF