Effect of 28 MeV He{2+} Ion Beam and Short-Pulsed 200 keV C{+} Ion Beam Irradiation on Optical Properties of Multilayer Al-Si-N Coatings

Effect of 28 MeV He{2+} Ion Beam and Short-Pulsed 200 keV C{+} Ion Beam Irradiation on Optical Properties of Multilayer Al-Si-N Coatings

Bibliographic Details
Parent link:	Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2019): 21st International Conference, 25-30 August 2019, Tomsk, Russia/ National Research Tomsk Polytechnic University (TPU). [P. 151].— , 2019
Corporate Authors:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов, Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научная лаборатория радиоактивных веществ и технологий, Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа новых производственных технологий Научно-производственная лаборатория "Импульсно-пучковых, электроразрядных и плазменных технологий"
Other Authors:	Pavlov S. K. Sergey Konstantinovich, Konusov F. V. Fedor Valerievich, Lauk A. L. Aleksandr Lukyanovich, Sokhoreva V. V. Valentina Viktorovna, Gadirov R. Ruslan, Tarbokov V. A. Vladislav Aleksandrovich
Summary:	Заглавие с экрана
Published:	2019
Series:	Defect Engineering, Nano-Science and Technology. Poster Session
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ ion beam Al-Si-N coatings radiation defects absorption ионные пучки радиационные дефекты поглощение многослойные покрытия тонкие слои оптические свойства
Online Access:	https://smmib.ru/assets/files/SMMIB2019_TOMSK_full.pdf#page=152
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=660894

Internet

https://smmib.ru/assets/files/SMMIB2019_TOMSK_full.pdf#page=152