Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга, Bleykher G. A. Galina Alekseevna, Yuryeva A. V. Alena Victorovna, Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich, Shabunin A. S. Artem Sergeevich, & Yuriev Yu. N. Yuri Nikolaevich. (2019). Controlling the Properties of Metal Films Deposited Using Magnetron Sputtering Systems with Evaporative Targets. 2019.
Chicago Style (17th ed.) CitationНациональный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга, Bleykher G. A. Galina Alekseevna, Yuryeva A. V. Alena Victorovna, Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich, Shabunin A. S. Artem Sergeevich, and Yuriev Yu. N. Yuri Nikolaevich. Controlling the Properties of Metal Films Deposited Using Magnetron Sputtering Systems with Evaporative Targets. 2019, 2019.
MLA (9th ed.) CitationНациональный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга, et al. Controlling the Properties of Metal Films Deposited Using Magnetron Sputtering Systems with Evaporative Targets. 2019, 2019.