Controlling the Properties of Metal Films Deposited Using Magnetron Sputtering Systems with Evaporative Targets

Bibliographic Details
Parent link:	Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2019): 21st International Conference, 25-30 August 2019, Tomsk, Russia/ National Research Tomsk Polytechnic University (TPU). [P. 106].— , 2019
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга
Other Authors:	Bleykher (Bleicher) G. A. Galina Alekseevna, Yuryeva A. V. Alena Victorovna, Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich, Shabunin A. S. Artem Sergeevich, Yuriev Yu. N. Yuri Nikolaevich
Summary:	Заглавие с экрана
Published:	2019
Series:	Ion-Assisted Coating Deposition. Poster Session
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ металлические пленки осаждение магнетронные системы распылительные системы мишени magnetron sputtering systems metal films and coatings sputtering evaporation film growth
Online Access:	https://smmib.ru/assets/files/SMMIB2019_TOMSK_full.pdf#page=107
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=660888

Internet