Влияние рабочего газа на скорость осаждения кальций-фосфатных покрытий, сформированных методом ВЧМР ГАП-мишени; Вакуумная техника и технологии

Dettagli Bibliografici
Parent link:Вакуумная техника и технологии.— 2019.— [С. 269-272]
Autore principale: Федоткин А. Ю. Александр Юрьевич
Ente Autore: Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга
Altri autori: Козельская А. И. Анна Ивановна, Твердохлебов С. И. Сергей Иванович
Riassunto:Заглавие с экрана
В работе изучено влияние рабочего газа на скорость осаждения КФ покрытий при ВЧ-магнетронном распылении ГАП-мишени в атмосфере Ar, Kr и Xe. Исследованы спектральные линии излучения плазмы, элементный и фазовый состав, сформированных покрытий. Скорости осаждения КФ покрытий, сформированных в Ar и Kr, примерно сопоставимы и выше чем у покрытий, осажденных в Xe.
Lingua:russo
Pubblicazione: 2019
Soggetti:
Accesso online:https://www.vactron.ru/media/VTT2019-VACTRON.ru.pdf#page=268
Natura: Elettronico Libro
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=660836

Documenti analoghi