Влияние рабочего газа на скорость осаждения кальций-фосфатных покрытий, сформированных методом ВЧМР ГАП-мишени; Вакуумная техника и технологии

Влияние рабочего газа на скорость осаждения кальций-фосфатных покрытий, сформированных методом ВЧМР ГАП-мишени; Вакуумная техника и технологии

Bibliographic Details
Parent link:	Вакуумная техника и технологии.— 2019.— [С. 269-272]
Main Author:	Федоткин А. Ю. Александр Юрьевич
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга
Other Authors:	Козельская А. И. Анна Ивановна, Твердохлебов С. И. Сергей Иванович
Summary:	Заглавие с экрана В работе изучено влияние рабочего газа на скорость осаждения КФ покрытий при ВЧ-магнетронном распылении ГАП-мишени в атмосфере Ar, Kr и Xe. Исследованы спектральные линии излучения плазмы, элементный и фазовый состав, сформированных покрытий. Скорости осаждения КФ покрытий, сформированных в Ar и Kr, примерно сопоставимы и выше чем у покрытий, осажденных в Xe.
Language:	Russian
Published:	2019
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ рабочий газ скорость осаждение кальций-фосфатные покрытия
Online Access:	https://www.vactron.ru/media/VTT2019-VACTRON.ru.pdf#page=268
Format:	Electronic Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=660836

Internet

https://www.vactron.ru/media/VTT2019-VACTRON.ru.pdf#page=268