|
|
|
|
| LEADER |
00000nlm0a2200000 4500 |
| 001 |
660836 |
| 005 |
20250829122656.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\network\30900
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\network\10845
|
| 090 |
|
|
|a 660836
|
| 100 |
|
|
|a 20191029d2019 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a y z 100zy
|
| 135 |
|
|
|a drcn ---uucaa
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|
| 182 |
|
0 |
|a b
|
| 200 |
1 |
|
|a Влияние рабочего газа на скорость осаждения кальций-фосфатных покрытий, сформированных методом ВЧМР ГАП-мишени
|f А. Ю. Федоткин, А. И. Козельская, С. И. Твердохлебов
|
| 203 |
|
|
|a Текст
|c электронный
|
| 300 |
|
|
|a Заглавие с экрана
|
| 320 |
|
|
|a [Библиогр.: с. 272 (5 назв.)]
|
| 330 |
|
|
|a В работе изучено влияние рабочего газа на скорость осаждения КФ покрытий при ВЧ-магнетронном распылении ГАП-мишени в атмосфере Ar, Kr и Xe. Исследованы спектральные линии излучения плазмы, элементный и фазовый состав, сформированных покрытий. Скорости осаждения КФ покрытий, сформированных в Ar и Kr, примерно сопоставимы и выше чем у покрытий, осажденных в Xe.
|
| 463 |
|
|
|t Вакуумная техника и технологии
|o труды 26-й Всероссийской научно-технической конференции с международным участием, Санкт-Петербург, 18-20 июня 2019
|v [С. 269-272]
|d 2019
|
| 610 |
1 |
|
|a электронный ресурс
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 610 |
1 |
|
|a рабочий газ
|
| 610 |
1 |
|
|a скорость
|
| 610 |
1 |
|
|a осаждение
|
| 610 |
1 |
|
|a кальций-фосфатные покрытия
|
| 700 |
|
1 |
|a Федоткин
|b А. Ю.
|c физик
|c инженер Томского политехнического университета
|f 1994-
|g Александр Юрьевич
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\44106
|
| 701 |
|
1 |
|a Козельская
|b А. И.
|c физик
|c научный сотрудник Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук
|f 1985-
|g Анна Ивановна
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\39662
|9 21043
|
| 701 |
|
1 |
|a Твердохлебов
|b С. И.
|c физик
|c доцент Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук
|f 1961-
|g Сергей Иванович
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\27873
|9 12889
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Национальный исследовательский Томский политехнический университет
|b Инженерная школа ядерных технологий
|b Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\23561
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20191029
|g RCR
|
| 856 |
4 |
|
|u https://www.vactron.ru/media/VTT2019-VACTRON.ru.pdf#page=268
|
| 942 |
|
|
|c CF
|
