Влияние рабочего газа на скорость осаждения кальций-фосфатных покрытий, сформированных методом ВЧМР ГАП-мишени; Вакуумная техника и технологии

Влияние рабочего газа на скорость осаждения кальций-фосфатных покрытий, сформированных методом ВЧМР ГАП-мишени; Вакуумная техника и технологии

Bibliographic Details
Parent link:Вакуумная техника и технологии.— 2019.— [С. 269-272]
Main Author: Федоткин А. Ю. Александр Юрьевич
Corporate Author: Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга
Other Authors: Козельская А. И. Анна Ивановна, Твердохлебов С. И. Сергей Иванович
Summary:Заглавие с экрана
В работе изучено влияние рабочего газа на скорость осаждения КФ покрытий при ВЧ-магнетронном распылении ГАП-мишени в атмосфере Ar, Kr и Xe. Исследованы спектральные линии излучения плазмы, элементный и фазовый состав, сформированных покрытий. Скорости осаждения КФ покрытий, сформированных в Ar и Kr, примерно сопоставимы и выше чем у покрытий, осажденных в Xe.
Language:Russian
Published: 2019
Subjects:
электронный ресурс
труды учёных ТПУ
рабочий газ
скорость
осаждение
кальций-фосфатные покрытия
Online Access:https://www.vactron.ru/media/VTT2019-VACTRON.ru.pdf#page=268
Format: Electronic Book
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=660836
Description
Summary:Заглавие с экрана
В работе изучено влияние рабочего газа на скорость осаждения КФ покрытий при ВЧ-магнетронном распылении ГАП-мишени в атмосфере Ar, Kr и Xe. Исследованы спектральные линии излучения плазмы, элементный и фазовый состав, сформированных покрытий. Скорости осаждения КФ покрытий, сформированных в Ar и Kr, примерно сопоставимы и выше чем у покрытий, осажденных в Xe.

Similar Items