Влияние параметров осаждения на микроструктуру и механические характеристики покрытий Ti-Al-Ta-N

Bibliographic Details
Parent link:Иерархические материалы: разработка и приложения для новых технологий и надежных конструкций.— 2018.— [С. 448]
Other Authors: Шугуров А. Р. Артур Рубинович, Панин А. В. Алексей Викторович, Акулинкин А. А., Кастеров А. М., Кузьминов Е. Д.
Summary:Заглавие с экрана
Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Language:Russian
Published: 2018
Series:Деградация тонких пленок и многослойных покрытий как иерархически организованных структур
Subjects:
Online Access:https://elibrary.ru/item.asp?id=36749133
http://dx.doi.org/10.17223/9785946217408/291
Format: Electronic Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=659903