Национальный исследовательский Томский политехнический университет Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов, Zenkin S. P. Sergey Petrovich, Konusov F. V. Fedor Valerievich, Lauk A. L. Aleksandr Lukyanovich, Zelentsov D. Yu. Denis Yurjevich, & Demchenko S. G. Stanislav Gennadjevich. (2019). Structure, Mechanical and Optical Properties of Silicon-Rich Al–Si–N Films Prepared by High Power Impulse Magnetron Sputtering; Coatings; Vol. 9, iss. 1. 2019. https://doi.org/10.3390/coatings9010053
Citação do estilo Chicago (17ª ed.)Национальный исследовательский Томский политехнический университет Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов, Zenkin S. P. Sergey Petrovich, Konusov F. V. Fedor Valerievich, Lauk A. L. Aleksandr Lukyanovich, Zelentsov D. Yu. Denis Yurjevich, e Demchenko S. G. Stanislav Gennadjevich. Structure, Mechanical and Optical Properties of Silicon-Rich Al–Si–N Films Prepared by High Power Impulse Magnetron Sputtering; Coatings; Vol. 9, Iss. 1. 2019, 2019. https://doi.org/10.3390/coatings9010053.
Citação MLA (9ª ed.)Национальный исследовательский Томский политехнический университет Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов, et al. Structure, Mechanical and Optical Properties of Silicon-Rich Al–Si–N Films Prepared by High Power Impulse Magnetron Sputtering; Coatings; Vol. 9, Iss. 1. 2019, 2019. https://doi.org/10.3390/coatings9010053.