APA (7th ed.) Citation

Национальный исследовательский Томский политехнический университет Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов, Zenkin S. P. Sergey Petrovich, Konusov F. V. Fedor Valerievich, Lauk A. L. Aleksandr Lukyanovich, Zelentsov D. Yu. Denis Yurjevich, & Demchenko S. G. Stanislav Gennadjevich. (2019). Structure, Mechanical and Optical Properties of Silicon-Rich Al–Si–N Films Prepared by High Power Impulse Magnetron Sputtering; Coatings; Vol. 9, iss. 1. 2019. https://doi.org/10.3390/coatings9010053

Chicago Style (17th ed.) Citation

Национальный исследовательский Томский политехнический университет Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов, Zenkin S. P. Sergey Petrovich, Konusov F. V. Fedor Valerievich, Lauk A. L. Aleksandr Lukyanovich, Zelentsov D. Yu. Denis Yurjevich, and Demchenko S. G. Stanislav Gennadjevich. Structure, Mechanical and Optical Properties of Silicon-Rich Al–Si–N Films Prepared by High Power Impulse Magnetron Sputtering; Coatings; Vol. 9, Iss. 1. 2019, 2019. https://doi.org/10.3390/coatings9010053.

MLA (9th ed.) Citation

Национальный исследовательский Томский политехнический университет Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов, et al. Structure, Mechanical and Optical Properties of Silicon-Rich Al–Si–N Films Prepared by High Power Impulse Magnetron Sputtering; Coatings; Vol. 9, Iss. 1. 2019, 2019. https://doi.org/10.3390/coatings9010053.