Национальный исследовательский Томский политехнический университет Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов, Zenkin S. P. Sergey Petrovich, Konusov F. V. Fedor Valerievich, Lauk A. L. Aleksandr Lukyanovich, Zelentsov D. Yu. Denis Yurjevich, & Demchenko S. G. Stanislav Gennadjevich. (2019). Structure, Mechanical and Optical Properties of Silicon-Rich Al–Si–N Films Prepared by High Power Impulse Magnetron Sputtering; Coatings; Vol. 9, iss. 1. 2019. https://doi.org/10.3390/coatings9010053
Цитирование в стиле Чикаго (17-е изд.)Национальный исследовательский Томский политехнический университет Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов, Zenkin S. P. Sergey Petrovich, Konusov F. V. Fedor Valerievich, Lauk A. L. Aleksandr Lukyanovich, Zelentsov D. Yu. Denis Yurjevich, и Demchenko S. G. Stanislav Gennadjevich. Structure, Mechanical and Optical Properties of Silicon-Rich Al–Si–N Films Prepared by High Power Impulse Magnetron Sputtering; Coatings; Vol. 9, Iss. 1. 2019, 2019. https://doi.org/10.3390/coatings9010053.
Цитирование MLA (9-е изд.)Национальный исследовательский Томский политехнический университет Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов, et al. Structure, Mechanical and Optical Properties of Silicon-Rich Al–Si–N Films Prepared by High Power Impulse Magnetron Sputtering; Coatings; Vol. 9, Iss. 1. 2019, 2019. https://doi.org/10.3390/coatings9010053.