Исследование свойств тонких пленок Ti–O–N, осажденных методом реактивного магнетронного напыления; Известия Российской академии наук. Серия физическая; Т. 82, № 9

Исследование свойств тонких пленок Ti–O–N, осажденных методом реактивного магнетронного напыления; Известия Российской академии наук. Серия физическая; Т. 82, № 9

Bibliographic Details
Parent link:	Известия Российской академии наук. Серия физическая: научный журнал/ Российская академия наук (РАН), Академиздатцентр "Наука".— , 1936- Т. 82, № 9.— 2018.— [С. 1257-1262]
Main Author:	Бойцова Е. Л. Елена Львовна
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Отделение ядерно-топливного цикла
Other Authors:	Леонова Л. А. Лилия Александровна
Summary:	Заглавие с экрана Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Language:	Russian
Published:	2018
Subjects:	труды учёных ТПУ электронный ресурс диссипативные процессы тонкие пленки магнетронное напыление
Online Access:	https://elibrary.ru/item.asp?id=35462836
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=658809

Similar Items

Влияние азота на коррозионную стойкость тонких пленок TI-O-N, осажденных методом реактивного магнетронного напыления; Материаловедение; № 1
by: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
Published: (2021)

Исследование состава и структуры покрытий на основе диоксида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Письма о материалах; Т. 7, № 2
Published: (2017)

Исследование поверхностных свойств покрытий на основе оксинитридов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2
by: Быкова Ю. В. Юлия Владиславовна
Published: (2012)

Двухкамерная установка для напыления тонких плёнок в поперечном высокочастотном разряде; Приборы и техника эксперимента; № 6
by: Строкань Г. П.
Published: (2003)

Структура пленок, напыляемых в магнитном поле путем магнетронного распыления; Изотопы: технологии, материалы и применение
by: Загузин И. Ю.
Published: (2018)

Влияние температуры отжига и материала промежуточного подслоя на деградацию тонких плёнок CU на кремниевой и поликоровой подложках; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
by: Лязгин А. О.
Published: (2009)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
by: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Published: (Томск, [Б. и.], 2016)

Свойства тонких пленок сульфидов вольфрама и меди, полученных методом магнетронного распыления; Материаловедение; № 9
by: Ан В. В. Владимир Вилорьевич
Published: (2016)

Вакуумное нанесение тонких пленок
by: Данилин Б. С. Борис Степанович
Published: (Москва, Энергия, 1967)

Обнаружение NO в биосовместимых оксинитридных покрытиях титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Химия и химическая технология в XXI веке; Т. 1
by: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
Published: (2015)

Изучение свойств поверхности и растворимости покрытий оксинитридов титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине
by: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
Published: (2016)

Электропроводность тонких плёнок оксида титана, полученных методом среднечастотного магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2
by: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Published: (2009)

Физико-механические свойства тонких плёнок оксида титана, полученных методом магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
by: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Published: (2009)

Деградация тонких плёнок Ti при знакопеременном изгибе; Современные техника и технологии; Т. 2
by: Цао Янь
Published: (2007)

Формирование интерметаллидных покрытий при использовании плазмы олова и ниобия методом магнетронного напыления; Известия вузов. Физика; Т. 65, № 11
Published: (2022)

Условия формирования биоактивных покрытий методом ВЧ магнетронного напыления на ПЭЭК; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
by: Ли В. И.
Published: (2021)

Исследование процесса формирования сверхпроводящих покрытий станнида триниобия методом магнетронного напыления для задач ускорительной техники; Известия вузов. Физика; Т. 65, № 11
Published: (2022)

Исследование поверхностной плотности заряда тонких оксидных покрытий TiO2, полученных методом магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 3
by: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Published: (2010)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
by: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Published: (Томск, [Б. и.], 2016)

Свойства тонких покрытий оксида титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления и перспектива их применения в медицине; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
by: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Published: (2009)

Effect of nitrogen content on structural and mechanical properties of AlTiZrTaHf(-N) high entropy films deposited by reactive magnetron sputtering; Surface and Coatings Technology; Vol. 432
Published: (2022)

Magnetron sputtered LSC thin films for solid oxide fuel cell application; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 1115 : 6th International Congress "Energy Fluxes and Radiation Effects", EFRE2018. 14th International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows (14th CMM)
Published: (2018)

Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением
by: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Published: (Москва, Техносфера, 2014)

Исследование пленок азотосодержащего оксида титана осажденных магнетронным распылением; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
by: Сунь Чжилэй
Published: (2020)

Морфология поверхности покрытий оксидов и/или оксинитридов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук
by: Арышева Г. В. Галина Владиславовна
Published: (2014)

Структурные особенности и свойства азотсодержащих тонких плёнок диоксида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, для применения в биомедицине: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
by: Пустовалова А. А. Алла Александровна
Published: (Томск, 2017)

Влияние процесса распыления на структуру ВЧ-магнетронных тонких пленок; Перспективы развития фундаментальных наук
by: Шаронова А. А. Анна Александровна
Published: (2013)

Структура и свойства тонких пленок ZrO[2]:Y[2]O[3], формируемых методом магнетронного распыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Шипилова А. В. Анна Викторовна
Published: (Томск, 2018)

Осаждение сверхтвердых Ti-Si-N-покрытий методом импульсного сильноточного реактивного магнетронного распыления; Журнал технической физики; Т. 86, вып. 2
Published: (2016)

Структурные особенности и свойства азотсодержащих тонких плёнок диоксида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, для применения в биомедицине: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
by: Пустовалова А. А. Алла Александровна
Published: (Томск, 2017)

Исследования тонких пленок Cu2S, предназначенных для получения P-Cu2S/N-ZnO гетеропереходов фотовольтаического назначения; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
by: Шлома Ю. П.
Published: (2014)

Структура и свойства тонких пленок ZrO[2]:Y[2]O[3], формируемых методом магнетронного распыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Шипилова А. В. Анна Викторовна
Published: (Томск, 2018)

Микроструктурирование тонких пленок
Published: (Москва, Наука, 1991)

Структура и свойства покрытий на основе Ti-O-N, сформированных методом реактивного магнетронного распыления; Известия вузов. Физика; Т. 56, № 10
Published: (2013)

Влияние ИМПА магнетронного диода свойства никелевых пленок; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
by: Целовальникова А. Е.
Published: (2019)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
by: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Published: (Томск, 2016)

Особенности формирования кальций-фосфатных покрытий методом ВЧ магнетронного напыления на имплантатах; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 320, № 2 : Математика и механика. Физика
by: Твердохлебов С. И. Сергей Иванович
Published: (2012)

Свойства пленок оксида танатала, полученных ВЧ магнетронным напылением; Современные техника и технологии; Т. 2
by: Петрова Ю. С.
Published: (2009)

Исследование структуры, элементного и фазового состава покрытий на основе оксинитридов титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Взаимодействие ионов с поверхностью (ВИП - 2013); Т. 1
Published: (2013)

Исследование фазового состава тонких пленок диоксида титана, полученных среднечастотным дуальным магнетронным распылением; Перспективы развития фундаментальных наук
by: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Published: (2012)