Исследование свойств тонких пленок Ti–O–N, осажденных методом реактивного магнетронного напыления

Исследование свойств тонких пленок Ti–O–N, осажденных методом реактивного магнетронного напыления

Bibliographic Details
Parent link:	Известия Российской академии наук. Серия физическая: научный журнал/ Российская академия наук (РАН), Академиздатцентр "Наука".— , 1936- Т. 82, № 9.— 2018.— [С. 1257-1262]
Main Author:	Бойцова Е. Л. Елена Львовна
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Отделение ядерно-топливного цикла
Other Authors:	Леонова Л. А. Лилия Александровна
Summary:	Заглавие с экрана Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Published:	2018
Subjects:	труды учёных ТПУ электронный ресурс диссипативные процессы тонкие пленки магнетронное напыление
Online Access:	https://elibrary.ru/item.asp?id=35462836
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=658809

Similar Items

Влияние азота на коррозионную стойкость тонких пленок TI-O-N, осажденных методом реактивного магнетронного напыления
by: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
Published: (2021)

Влияние температуры отжига и материала промежуточного подслоя на деградацию тонких плёнок CU на кремниевой и поликоровой подложках
by: Лязгин А. О.
Published: (2009)

Структура пленок, напыляемых в магнитном поле путем магнетронного распыления
by: Загузин И. Ю.
Published: (2018)

Двухкамерная установка для напыления тонких плёнок в поперечном высокочастотном разряде
by: Строкань Г. П.
Published: (2003)

Исследование процесса термического напыления тонких металлических пленок учебно-методическое пособие
by: Владимирова Л. Н.
Published: (Воронеж, ВГУ, 2019)

Деградация тонких плёнок Ti при знакопеременном изгибе
by: Цао Янь
Published: (2007)

Выращивание кристаллов: выращивание кристаллических пленок методом магнетронного напыления лабораторный практикум
by: Пархоменко Ю. Н.
Published: (Москва, МИСИС, 2017)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
by: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Published: (Томск, [Б. и.], 2016)

Электропроводность тонких плёнок оксида титана, полученных методом среднечастотного магнетронного распыления
by: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Published: (2009)

Физико-механические свойства тонких плёнок оксида титана, полученных методом магнетронного распыления
by: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Published: (2009)

Исследование поверхностной плотности заряда тонких оксидных покрытий TiO2, полученных методом магнетронного распыления
by: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Published: (2010)

Magnetron sputtered LSC thin films for solid oxide fuel cell application
Published: (2018)

Свойства тонких пленок сульфидов вольфрама и меди, полученных методом магнетронного распыления
by: Ан В. В. Владимир Вилорьевич
Published: (2016)

Исследование состава и структуры покрытий на основе диоксида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления
Published: (2017)

Вакуумное нанесение тонких пленок
by: Данилин Б. С. Борис Степанович
Published: (Москва, Энергия, 1967)

Исследование поверхностных свойств покрытий на основе оксинитридов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления
by: Быкова Ю. В. Юлия Владиславовна
Published: (2012)

Effect of nitrogen content on structural and mechanical properties of AlTiZrTaHf(-N) high entropy films deposited by reactive magnetron sputtering
Published: (2022)

Исследование пленок азотосодержащего оксида титана осажденных магнетронным распылением
by: Сунь Чжилэй
Published: (2020)

Исследования тонких пленок Cu2S, предназначенных для получения P-Cu2S/N-ZnO гетеропереходов фотовольтаического назначения
by: Шлома Ю. П.
Published: (2014)

Свойства тонких покрытий оксида титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления и перспектива их применения в медицине
by: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Published: (2009)

Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением
by: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Published: (Москва, Техносфера, 2014)

Структура и свойства тонких пленок ZrO[2]:Y[2]O[3], формируемых методом магнетронного распыления автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
by: Шипилова А. В. Анна Викторовна
Published: (Томск, 2018)

Влияние процесса распыления на структуру ВЧ-магнетронных тонких пленок
by: Шаронова А. А. Анна Александровна
Published: (2013)

Влияние ИМПА магнетронного диода свойства никелевых пленок
by: Целовальникова А. Е.
Published: (2019)

Методы напыления ультратонких металлических пленок
by: Тесленок А. В.
Published: (2015)

The Reactive Deposition of TiO[x] Thin Films
by: Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich
Published: (2014)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
by: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Published: (Томск, [Б. и.], 2016)

Структурные особенности и свойства азотсодержащих тонких плёнок диоксида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, для применения в биомедицине автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
by: Пустовалова А. А. Алла Александровна
Published: (Томск, 2017)

Свойства пленок оксида танатала, полученных ВЧ магнетронным напылением
by: Петрова Ю. С.
Published: (2009)

Структура и свойства тонких пленок ZrO[2]:Y[2]O[3], формируемых методом магнетронного распыления диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
by: Шипилова А. В. Анна Викторовна
Published: (Томск, 2018)

Структурные особенности и свойства азотсодержащих тонких плёнок диоксида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, для применения в биомедицине диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
by: Пустовалова А. А. Алла Александровна
Published: (Томск, 2017)

Обнаружение NO в биосовместимых оксинитридных покрытиях титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления
by: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
Published: (2015)

The oxygen-deficient TiO2 films deposited by a dual magnetron sputtering
Published: (2016)

Микроструктурирование тонких пленок
Published: (Москва, Наука, 1991)

Условия формирования биоактивных покрытий методом ВЧ магнетронного напыления на ПЭЭК
by: Ли В. И.
Published: (2021)

Изучение свойств поверхности и растворимости покрытий оксинитридов титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления
by: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
Published: (2016)

Формирование интерметаллидных покрытий при использовании плазмы олова и ниобия методом магнетронного напыления
Published: (2022)

Исследование фазового состава тонких пленок диоксида титана, полученных среднечастотным дуальным магнетронным распылением
by: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Published: (2012)

Измерение эквивалентных электрических параметров диссипативных преобразователей
by: Савченко В. Е.
Published: (2002)

Исследование процесса формирования сверхпроводящих покрытий станнида триниобия методом магнетронного напыления для задач ускорительной техники
Published: (2022)