Исследование свойств тонких пленок Ti–O–N, осажденных методом реактивного магнетронного напыления

Bibliographic Details
Parent link:	Известия Российской академии наук. Серия физическая: научный журнал/ Российская академия наук (РАН), Академиздатцентр "Наука".— , 1936- Т. 82, № 9.— 2018.— [С. 1257-1262]
Main Author:	Бойцова Е. Л. Елена Львовна
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Отделение ядерно-топливного цикла
Other Authors:	Леонова Л. А. Лилия Александровна
Summary:	Заглавие с экрана Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Published:	2018
Subjects:	труды учёных ТПУ электронный ресурс диссипативные процессы тонкие пленки магнетронное напыление
Online Access:	https://elibrary.ru/item.asp?id=35462836
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=658809

Internet