Исследование свойств тонких пленок Ti–O–N, осажденных методом реактивного магнетронного напыления
| Parent link: | Известия Российской академии наук. Серия физическая: научный журнал/ Российская академия наук (РАН), Академиздатцентр "Наука".— , 1936- Т. 82, № 9.— 2018.— [С. 1257-1262] |
|---|---|
| Autor principal: | |
| Autor Corporativo: | |
| Outros Autores: | |
| Resumo: | Заглавие с экрана Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Publicado em: |
2018
|
| Assuntos: | |
| Acesso em linha: | https://elibrary.ru/item.asp?id=35462836 |
| Formato: | Recurso Electrónico Capítulo de Livro |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=658809 |
MARC
| LEADER | 00000naa0a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 658809 | ||
| 005 | 20250217120959.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\network\26894 | ||
| 090 | |a 658809 | ||
| 100 | |a 20181122d2018 k||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a arcn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Исследование свойств тонких пленок Ti–O–N, осажденных методом реактивного магнетронного напыления |f Е. Л. Бойцова, Л. А. Леонова | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 300 | |a Заглавие с экрана | ||
| 320 | |a [Библиогр.: 14 назв.] | ||
| 333 | |a Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса | ||
| 461 | 1 | |t Известия Российской академии наук. Серия физическая |o научный журнал |f Российская академия наук (РАН), Академиздатцентр "Наука" |d 1936- | |
| 463 | 1 | |t Т. 82, № 9 |v [С. 1257-1262] |d 2018 | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a диссипативные процессы | |
| 610 | 1 | |a тонкие пленки | |
| 610 | 1 | |a магнетронное напыление | |
| 700 | 1 | |a Бойцова |b Е. Л. |c физик |c доцент Томского политехнического университета, кандидат технических наук |f 1975- |g Елена Львовна |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\34868 |9 18204 | |
| 701 | 1 | |a Леонова |b Л. А. |c химик-технолог |c доцент Томского политехнического университета, кандидат технических наук |c девичья фамилия Филатова |f 1983- |g Лилия Александровна |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\25860 |9 11728 | |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет |b Инженерная школа ядерных технологий |b Отделение ядерно-топливного цикла |3 (RuTPU)RU\TPU\col\23554 |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20181122 |g RCR | |
| 856 | 4 | 0 | |u https://elibrary.ru/item.asp?id=35462836 |
| 942 | |c CF | ||