Influence of Al-Si-N interlayer on residual stress of CVD diamond coatings

Influence of Al-Si-N interlayer on residual stress of CVD diamond coatings

Bibliografiske detaljer
Parent link:	Surface and Coatings Technology Vol. 357.— 2019.— [P. 348–352]
Hovedforfatter:	Gaydaychuk A. V. Alexander Valerievich
Corporate Authors:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Инженерная школа новых производственных технологий (ИШНПТ) Научно-производственная лаборатория "Импульсно-пучковых, электроразрядных и плазменных технологий" (НПЛ ИПЭПТ), Национальный исследовательский Томский политехнический университет Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов
Andre forfattere:	Zenkin S. P. Sergey Petrovich, Linnik S. A. Stepan Andreevich
Summary:	Title screen Here we report the novel interlayer for the high-quality CVD diamond thin films with reduced residual stress. We used the novel sputtering technique of reactive high power impulse magnetron suttering (r-HiPIMS) which allows us to deposit high quality, void- and defect-free AlSiN interlayer films. The film based on Al-Si-N system shows fully amorphous structure at temperature of diamond film synthesis (800?°C), inertness to diamond and hard WC-Co alloy at elevated temperatures and reduction of the diamond macrostress up to ?0.25?GPa for film with AlSiN interlayer. Additionally, varying the Al content in Al-Si-N film we can finely tune its mechanical properties and total stress in substrate – AlSiN – diamond system. We show that AlSiN with the combination of its properties overcomes conventionally used interlayer materials for CVD-diamond such as transition metals or their nitrides and carbides. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Udgivet:	2019
Fag:	электронный ресурс труды учёных ТПУ остаточное напряжение алмазные пленки распыление
Online adgang:	https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2018.10.030
Format:	Electronisk Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=658731

Lignende værker

The dynamic sublayers for improving the adhesion of CVD diamond films on copper
af: Gaydaychuk A. V. Alexander Valerievich
Udgivet: (2017)

The dynamic sublayers for improving the adhesion of CVD diamond films on copper
af: Gaydaychuk A. V. Alexander Valerievich
Udgivet: (2016)

The Feasibility of Usage TiN and CrN Barrier Sublayers for Improving the Adhesion of Polycrystalline Diamond Films on WC-Co Hard Alloys
af: Linnik S. A. Stepan Andreevich
Udgivet: (2016)

The peculiarities of CVD diamond coatings synthesis in abnormal glow discharge plasma using repetitively-pulsed mode
af: Linnik S. A. Stepan Andreevich
Udgivet: (2017)

Tribological and mechanical properties of diamond films synthesized with high methane concentration
af: Gaydaychuk A. V. Alexander Valerievich
Udgivet: (2019)

The peculiarities of structural modificaions of CVD polycrystalline diamond coatings by heavy doping with boron
af: Okhotnikov V. V. Vitaly Vladimirovich
Udgivet: (2016)

The peculiarities of CVD diamond coatings synthesis in abnormal glow discharge plasma using repetitively-pulsed mode
af: Linnik S. A. Stepan Andreevich
Udgivet: (2016)

Solid particle erosion of CVD diamond films deposited at different methane concentration
Udgivet: (2022)

Processing of heavy residual feedstock on Mo/Al[2]O[3]-catalytic systems obtained using polyoxomolybdate compounds
Udgivet: (2019)

Influence of Cobalt on the Adhesion Strength of Polycrystalline Diamond Coatings on WC–Co Hard Alloys
af: Linnik S. A. Stepan Andreevich
Udgivet: (2018)

Effect of Aluminum Content on the Performance of Coatings Based on Al-Si-N
Udgivet: (2016)

Optical Absorption Peculiarities of Al-Si-N Coatings Produced by Magnetron Sputtering
Udgivet: (2016)

Research of reactive ion and plasma-chemical etching effect on diamond coating surface morphology
af: Okhotnikov V. V. Vitaly Vladimirovich
Udgivet: (2016)

Irradiation of sputtered Al-Si-N coatings by pulsed 200 keV C+ion beam
Udgivet: (2018)

Investigation of the applied voltage influence on the ionizing radiation particles detecting by diamond detectors
af: Okhotnikov V. V. Vitaly Vladimirovich
Udgivet: (2017)

Асимптотический анализ системы M^[n]/GI/1 с учетом остаточного времени обслуживания
af: Назаров А. А. Анатолий Андреевич
Udgivet: (2024)

Microstructure and properties of nanocomposite Al-Si-N system coatings produced by magnetron sputtering
Udgivet: (2016)

Research of wear resistance of polycrystalline diamond coatings on hard alloys based on WC-Co
af: Khalafov R. D.
Udgivet: (2019)

Определение остаточных напряжений при пластическом деформировании методом электротензометрии
af: Анфилофьев А. В.
Udgivet: (1972)

Experimental investigation of resistance to particles impact of coatings on the basis of Al-Si-N system
Udgivet: (2016)

Selective deposition of polycrystalline diamond films using photolithography with addition of nanodiamonds as nucleation centers
Udgivet: (2016)

An experimental analysis of quenching of continuously heated vertical rod with aqueous Al2O3 nanofluid
Udgivet: (2017)

New set up for diamond coatings deposition in AC glow discharge plasma on WC-Co milling cutters of complex shape
af: Linnik S. A. Stepan Andreevich
Udgivet: (2019)

The Research of Diamond Coatings Morphology Evolution under the Action of Reactive Ion Etching in Perpendicular Direction
af: Okhotnikov V. V. Vitaly Vladimirovich
Udgivet: (2016)

Защитные покрытия ZrYO/AlSiN
af: Ван Синьсинь
Udgivet: (2021)

Features of microstructure of ZrN, Si3N4 and ZrN/SiNx nanoscale films irradiated by Xe ions
Udgivet: (2017)

Heteroepitaxial Diamond Growth from the Gas Phase: Problems and Prospects (Review)
af: Linnik S. A. Stepan Andreevich
Udgivet: (2021)

Контроль остаточной намагниченности деталей перед проведением сварочных работ
af: Бакунов А. С.
Udgivet: (2004)

Changes in the state of heat-resistant steel induced by repeated hot deformation
Udgivet: (2018)

Наноматериалы. IV. Тонкие пленки как наноструктурированные системы [монография]
af: Белянин А. Ф. Алексей Федорович
Udgivet: (Москва, Техномаш, 2008)

Магнетронное осаждение двухслойных покрытий Ta/SiAlN и SiAlN/TaN для защиты кварцевых стекол от ударов гиперскоростных микрочастиц железа
Udgivet: (2021)

Управление формированием остаточных напряжений при изготовлении ответственных деталей
af: Киселев Е. С.
Udgivet: (Санкт-Петербург, Лань, 2022)

Оценка остаточного содержания Cs-137 на территории Томского района, подвергшегося выпадению радионуклидов
af: Бектенов Д. Е.
Udgivet: (2023)

Регламентация режимов шлифования с учётом субструктурных и структурно-фазовых превращений в материале поверхностного слоя
af: Драпкин Б. М.
Udgivet: (2003)

Effect of energy on the formation of flexible hard Al-Si-N films prepared by magnetron sputtering
Udgivet: (2016)

Mechanism of Protective Membrane Formation on the Surface of Metal-Bonded Diamond Disks
af: Yanyushkin А. S.
Udgivet: (2014)

Deposition of Polycrystalline Diamond Films with a Controlled Grain Size by Periodic Secondary Nucleation
af: Linnik S. A. Stepan Andreevich
Udgivet: (2016)

Synthesis of Polycrystalline Diamond Films in Abnormal Glow Discharge and their Properties
Udgivet: (2015)

Изменение структуры и фазового состава покрытий Si-Al-N, полученных при магнетронном распылении мишеней с разным соотношением Al:Si
Udgivet: (2013)

Термокаталитическое превращение тяжелого остаточного сырья в присутствии полиоксомолибдатных соединений
Udgivet: (2018)