Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Кафедра лазерной и световой техники (ЛиСТ), Meszmer P. Peter, Rodriguez Contreras R. D. Raul David, Sheremet E. S. Evgeniya Sergeevna, Zahn Dietrich R. T., & Wunderle B. Bernhard. (2017). Stress imaging in structural challenging MEMS with high sensitivity using micro-Raman spectroscopy; Microelectronics Reliability; Vol. 79. 2017. https://doi.org/10.1016/j.microrel.2017.10.010
Citação do estilo Chicago (17ª ed.)Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Кафедра лазерной и световой техники (ЛиСТ), Meszmer P. Peter, Rodriguez Contreras R. D. Raul David, Sheremet E. S. Evgeniya Sergeevna, Zahn Dietrich R. T., e Wunderle B. Bernhard. Stress Imaging in Structural Challenging MEMS with High Sensitivity Using Micro-Raman Spectroscopy; Microelectronics Reliability; Vol. 79. 2017, 2017. https://doi.org/10.1016/j.microrel.2017.10.010.
Citação MLA (9ª ed.)Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Кафедра лазерной и световой техники (ЛиСТ), et al. Stress Imaging in Structural Challenging MEMS with High Sensitivity Using Micro-Raman Spectroscopy; Microelectronics Reliability; Vol. 79. 2017, 2017. https://doi.org/10.1016/j.microrel.2017.10.010.