Влияние предварительного легирования и режимов имплантации на диффузию кремния в GaAs при радиационном отжиге; Физика и техника полупроводников; Т. 38, вып. 3

Влияние предварительного легирования и режимов имплантации на диффузию кремния в GaAs при радиационном отжиге; Физика и техника полупроводников; Т. 38, вып. 3

Dettagli Bibliografici
Parent link:	Физика и техника полупроводников.— , 1967- Т. 38, вып. 3.— 2004.— [С. 265-269]
Autore principale:	Ардышев М. В.
Altri autori:	Ардышев В. М., Крючков Ю. Ю. Юрий Юрьевич
Riassunto:	Заглавие с экрана Методами вольт-фарадных характеристик и резерфордовского обратного рассеяния исследованы диффузионные параметры кремния 28Si при диффузии из предварительно созданных n-слоев в полуизолирующий GaAs при "электронном" и термическом отжигах. Слои были легированы серой или кремнием. Отмечается, что степень активации 28Si и коэффициент диффузии зависят от лигатуры, используемой при формировании n-слоя, и от режима имплантации (непрерывный или частотно-импульсный с длительностью импульса 1.3· 10-2 с и скважностью 100). Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Lingua:	russo
Pubblicazione:	2004
Soggetti:	электронный ресурс труды учёных ТПУ легирование кремний
Accesso online:	https://elibrary.ru/item.asp?id=20333795
Natura:	Elettronico Capitolo di libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=657128

Documenti analoghi

Использование ядерного легирования для получения высокоомного кремния; Изотопы: технологии, материалы и применение
di: Емец Е. Г. Евгений Геннадьевич
Pubblicazione: (2016)

Физико-химические основы легирования полупроводников
di: Глазов В. М. Василий Михайлович
Pubblicazione: (Москва, Наука, 1967)

Формирование зоны облучения для нейтронного легирования кремния фосфором на ядерном реакторе ИРТ: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец.- 01.04.16
di: Антропов Н. А. Николай Андреевич
Pubblicazione: (Томск, 1988)

Комплекс нейтронно-трансмутационного легирования слитков кремния на реакторе ИРТ-Т; Изотопы: технологии, материалы и применение
di: Головацкий А. В. Алексей Васильевич
Pubblicazione: (2014)

Установка для нейтронного легирования кремния на исследовательском ядерном реакторе ИРТ-Т; Современные техника и технологии; Т. 3
di: Головацкий А. В. Алексей Васильевич
Pubblicazione: (2013)

Некоторые вопросы технологии нейронно-трансмутационного легирования слитков кремния с диаметром более 300 мм; Исследование, разработка и применение высоких технологий в промышленности. Высокие технологии, фундаментальные и прикладные исследования, образование; Т. 8 : сборник трудов третьей Международной научно-практической конференции, 14-17 марта 2007 г., Санкт-Петербург
Pubblicazione: (2007)

Возможность создания технологии НТЛ кремния в реакторе ИРТ-Т на канале с односторонним доступом; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине
Pubblicazione: (2016)

Нейтронное легирование кремния фосфором; Проблемы физико-технического образования и атомной промышленности
di: Варлачёв В. А.
Pubblicazione: (2000)

Нейтронное трансмутационное легирование полупроводников: пер. с англ.
Pubblicazione: (Москва, Мир, 1982)

Легирование кремния лантоноидами как способ оптимизации параметров детекторов ионизирующих излучений; Приборы и техника эксперимента; № 3
Pubblicazione: (2002)

Легирование полупроводников методом ядерных реакций
Pubblicazione: (Новосибирск, Наука, 1981)

Разработка технологии нейтронно-трансмутационного легирования кремния диаметром 204 мм на реакторе ИРТ-Т; Взаимодействие излучений с твердым телом (ВИТТ-2025)
Pubblicazione: (2025)

Оптимизация условий облучения и разработка установки для ядерного легирования кремния в реакторе ИРТ-Т: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.02
di: Емец Е. Г. Евгений Геннадьевич
Pubblicazione: (Томск, 2016)

Моделирование процесса облучения и охлаждения кремния при проведении нейтронно-трансмутационного легирования на реакторе ИРТ-Т; Информационные технологии в науке, управлении, социальной сфере и медицине; Ч. 1
Pubblicazione: (2018)

Жидкофазная эпитаксия кремния
Pubblicazione: (Москва, Металлургия, 1989)

Использование компьютерного моделирования для определения величины радиационного разогрева при проведении нейтронно-трансмутационного легирования кремния на реакторе ИРТ-Т; Молодежь и современные информационные технологии
Pubblicazione: (2019)

Наноструктурированные порошки диоксида кремния, легированные редкоземельными элементами; Химия и химическая технология в XXI веке; Т. 1
Pubblicazione: (2011)

Моделирование расположения нового облучательного объема для НТЛ кремния в реакторе ИРТ-Т; VII Школа-конференция молодых атомщиков Сибири
Pubblicazione: (2016)

Влияние легирования кремнием поверхностных слоев никелида титана на его коррозионную стойкость и биохимическую совместимость; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 9
Pubblicazione: (2012)

Отжиг радиационных дефектов в n-GaAs; Известия вузов. Физика; Т. 47, № 10
di: Пешев В. В.
Pubblicazione: (2004)

Оптимизация условий облучения и разработка установки для ядерного легирования кремния в реакторе ИРТ-Т: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.02
di: Емец Е. Г. Евгений Геннадьевич
Pubblicazione: (Томск, [Б. и.], 2015)

Проблемы физики поверхности полупроводников
Pubblicazione: (Киев, Наукова думка, 1981)

Определение оптимальной компоновки активной зоны реактора ИРТ-Т для достижения эффективного облучения слитков кремния большого диаметра; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
di: Дмитриев С. К.
Pubblicazione: (2017)

Численное моделирование тепловых процессов и влияния нагрева приповерхностных слоев кремния на накопление и диффузию титана при высокоинтенсивной импульсной ионной имплантации; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024)
di: Иванова А. И. Анна Ивановна
Pubblicazione: (2024)

Выращивание фотодиодных структур на основе InGaAs и InAlGaAs на подложке GaAs методом МОСГЭ. Практикум
di: Байдусь Н. В.
Pubblicazione: (Нижний Новгород, ННГУ им. Н. И. Лобачевского, 2025)

Влияние высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов на свойства поликристаллического кремния; ФВЗЧК-2013
di: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Pubblicazione: (2013)

Физико-технологические основы нейтронно-трансмутационного легирования кремния диаметром до 204 мм в бассейновом реакторе ИРТ-Т: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8
di: Лебедев И. И. Иван Игоревич
Pubblicazione: (Томск, 2025)

Оптимизация условий облучения и разработка установки для ядерного легирования кремния в реакторе ИРТ-Т: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.02
di: Емец Е. Г. Евгений Геннадьевич
Pubblicazione: (Томск, [Б. и.], 2015)

Монокристалличекий кремний солнечного качества; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
di: Смольников Н. В.
Pubblicazione: (2018)

Физико-технологические основы нейтронно-трансмутационного легирования кремния диаметром до 204 мм в бассейновом реакторе ИРТ-Т: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8
di: Лебедев И. И. Иван Игоревич
Pubblicazione: (Томск, 2025)

Оптимизация условий облучения и разработка установки для ядерного легирования кремния в реакторе ИРТ-Т: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.02
di: Емец Е. Г. Евгений Геннадьевич
Pubblicazione: (Томск, [Б. и.], 2016)

Влияние дислокации на процесс образования примесно-дефектных композиций в легированном кремнии при терморадиационной обработке; Известия вузов. Физика; Т. 54, № 1/3 : Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах
Pubblicazione: (2011)

Термодинамика легирующих элементов и растворов кислорода в системе железо-хром-кремний; Современные техника и технологии; Т. 2
di: Сергунцова В. В.
Pubblicazione: (2010)

Электродные материалы для электроискрового легирования
Pubblicazione: (Москва, Наука, 1988)

Исследование влияния высокотеплопроводящих сплавов на равномерность распределения легирующей примеси при нейтронно-трансмутационном легировании кремния в вертикальном экспериментальном канале реактора ИРТ-Т; Изотопы: технологии, материалы и применение
di: Смольников Н. В. Никита Викторович
Pubblicazione: (2018)

Источники питания для электроискрового легирования
Pubblicazione: (Кишинев, Штиинца, 1983)

Моделирование лазерного термохимического легирования титана; Фундаментальные и прикладные проблемы современной механики
di: Нагорнова Т. А. Татьяна Александровна
Pubblicazione: (2006)

Основы рационального легирования сплавов
di: Сафронов И. И. Иван Исаевич
Pubblicazione: (Кишинев, Штиинца, 1991)

Исследование высокоинтенсивной имплантации ионов титана в кремний в условиях энергетического воздействия пучка на поверхность; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 10
Pubblicazione: (2024)

Нейтронное трансмутационное легирование кремния в бассейновом исследовательском ядерном реакторе: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук; спец. 01.04.07
di: Варлачев (Варлачёв) В. А. Валерий Александрович
Pubblicazione: (Томск, 2015)