Особенности структурно-фазового состояния и физико-механических свойств покрытий системы Al-SiN, полученных методом магнетронного осаждения
| Parent link: | Перспективные материалы с иерархической структурой для новых технологий и надежных конструкций: тезисы докладов Международной конференции, 9-13 октября 2017 г., Томск/ Российская академия наук (РАН), Сибирское отделение (СО), Институт физики прочности и материаловедения (ИФПМ). [С. 459-460].— , 2017 |
|---|---|
| Autor Corporativo: | |
| Outros Autores: | , , , |
| Resumo: | Заглавие с экрана |
| Publicado em: |
2017
|
| coleção: | Деградации тонких пленок и многослойных покрытий как иерархически организованных структур |
| Assuntos: | |
| Acesso em linha: | http://www.ispms.ru/files/Conference/2017_m/sb_tez_2017.pdf#page=460 |
| Formato: | Recurso Eletrônico Capítulo de Livro |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=657042 |
| Resumo: | Заглавие с экрана |
|---|