Особенности структурно-фазового состояния и физико-механических свойств покрытий системы Al-SiN, полученных методом магнетронного осаждения

Особенности структурно-фазового состояния и физико-механических свойств покрытий системы Al-SiN, полученных методом магнетронного осаждения

Bibliographic Details
Parent link:	Перспективные материалы с иерархической структурой для новых технологий и надежных конструкций: тезисы докладов Международной конференции, 9-13 октября 2017 г., Томск/ Российская академия наук (РАН), Сибирское отделение (СО), Институт физики прочности и материаловедения (ИФПМ). [С. 459-460].— , 2017
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет
Other Authors:	Божко И. А. Ирина Александровна, Калиева Р. А., Рыбалко Е. В., Сергеев В. П. Виктор Петрович
Summary:	Заглавие с экрана
Published:	2017
Series:	Деградации тонких пленок и многослойных покрытий как иерархически организованных структур
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ структурно-фазовые состояния физико-механические свойства покрытия магнетронное осаждение защитные покрытия остекление транспортные средства
Online Access:	http://www.ispms.ru/files/Conference/2017_m/sb_tez_2017.pdf#page=460
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=657042

Internet

http://www.ispms.ru/files/Conference/2017_m/sb_tez_2017.pdf#page=460