Национальный исследовательский Томский политехнический университет, Божко И. А. Ирина Александровна, Калиева Р. А., Рыбалко Е. В., & Сергеев В. П. Виктор Петрович. (2017). Особенности структурно-фазового состояния и физико-механических свойств покрытий системы Al-SiN, полученных методом магнетронного осаждения. 2017.
Cita Chicago (17th ed.)Национальный исследовательский Томский политехнический университет, Божко И. А. Ирина Александровна, Калиева Р. А., Рыбалко Е. В., i Сергеев В. П. Виктор Петрович. Особенности структурно-фазового состояния и физико-механических свойств покрытий системы Al-SiN, полученных методом магнетронного осаждения. 2017, 2017.
Cita MLA (9th ed.)Национальный исследовательский Томский политехнический университет, et al. Особенности структурно-фазового состояния и физико-механических свойств покрытий системы Al-SiN, полученных методом магнетронного осаждения. 2017, 2017.