Analysis of work and efficiency increase of of the ILUR-03 installation magnetron system for tubular specimens outer surface modification; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 830 : Energy Fluxes and Radiation Effects 2016

Analysis of work and efficiency increase of of the ILUR-03 installation magnetron system for tubular specimens outer surface modification; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 830 : Energy Fluxes and Radiation Effects 2016

Bibliographic Details
Parent link:	Journal of Physics: Conference Series Vol. 830 : Energy Fluxes and Radiation Effects 2016.— 2017.— [012058, 4 p.]
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ)
Other Authors:	Kalin B. A., Volkov N. V., Valikov R. A., Yashin A. S., Krivobokov V. P. Valery Pavlovich, Yanin S. N. Sergey Nikolaevich, Yuriev Yu. N. Yuri Nikolaevich
Summary:	Title screen The method of material near-surface layers doping by mixing of alloying elements films with ion beam is widely used in science and technology. Three magnetrons with independent power systems, integrated in installation for ion-beam treatment of long-range products ILUR-03, were used as deposition systems. Targets for magnetrons were in the form of disks 60 mm diameter and 5 mm thickness and consisted of the following elements: Al, Fe, Mo, Zr, Cr of purity better than 99.99 at.%. Deposition was performed in argon atmosphere at 1-5 Pa pressure and room temperature in stable current mode at 30-100 mA. Analysis of the obtained films on the surface of cylindrical specimens from zirconium alloys with the outer diameter of 9.15 mm showed high uniformity of coating on length of 300 mm, good adhesion and absence of discontinuities in the films body.
Language:	English
Published:	2017
Series:	Modification of materials with particle beams and plasma flows
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ эффективность установки магнетронные системы наружные поверхности трубчатые образцы легирование металлы ионно-лучевая обработка магнетроны пленки циркониевые сплавы адгезия
Online Access:	http://dx.doi.org/10.1088/1742-6596/830/1/012058 http://earchive.tpu.ru/handle/11683/39483
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=654911

Similar Items

Analysis of work and increasing of efficiency of the ILUR-03 installation magnetron system for tubular specimens outer surface modification; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
Published: (2016)

Magnetron Discharge in the Diode with a Liquid-Metal Target; 7 International conference on modification of materials with particle beams and plasma flows
Published: (2004)

Features of self-sustained magnetron sputtering of evaporating metal target; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
Published: (2019)

Comparison of glow, arc, and magnetron direct current discharges; Resource-Efficient Technologies; No 2
by: Abrahamyan A. S.
Published: (2019)

Магнетроны: пер. с англ.
by: Фиск Д.
Published: (Москва, Советское радио, 1948)

Компьютерное моделирование магнетрона с целью уменьшения воздействия "паразитных" магнитных полей; Инновационные технологии и экономика в машиностроении
by: Ибрагимов Е. А. Егор Артурович
Published: (2008)

Защитные многослойные Cr/Al2O3 покрытия для циркониевых сплавов от высокотемпературного окисления; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
by: Ручкин С. Е.
Published: (2023)

Использование сильноточных электронных ускорителей для генерации СВЧ-излучения в магнетронных системах: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.04
by: Сулакшин А. С. Александр Степанович
Published: (Томск, [Б. и.], 1979)

Экспериментальные исследования теплового состояния электромагнита магнетрона; Современные техника и технологии
by: Митюшкина В. Ю.
Published: (2000)

Моделирование магнитного поля магнетронной распылительной системы с плоским катодом; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
by: Анорин В. Е. Виталий Евгеньевич
Published: (2022)

Влияние самораспыления на скорости осаждения медных покрытий при работе магнетрона с испаряющейся мишенью; Перспективные материалы конструкционного и медицинского назначения
Published: (2018)

The formation of stable hydrogen impermeable TiN-based coatings on zirconium alloy Zr1%Nb; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 81 : Radiation-Thermal Effects and Processes in Inorganic Materials
Published: (2015)

Анализ возможностей магнетронных распылительных систем для высокоскоростного осаждения функциональных покрытий; Современные технологии, экономика и образование
by: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Published: (2020)

Магнетронная распылительная система на жидкофазных и твёрдых мишенях в сочетании с внешним пучком ускоренных ионов; Современные техника и технологии; Т. 3
by: Жукова М. А.
Published: (2007)

Определение равномерности толщины никелевых покрытий, нанесенных на циркониевые сплавы методом магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
by: Цяо Цзинвэнь
Published: (2017)

Исследования релятивистских магнетронных систем в микросекундном диапазоне длительностей импульса напряжения: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-технических наук; спец.01.04.20
by: Винтизенко И. И. Игорь Игоревич
Published: (Томск, [Б. и.], 1988)

Investigation of deposition efficiency increase mechanisms using pulsed magnetron sputteringsystems with hot target; Plasma Physics and Technology Journal; Vol. 3, № 1
Published: (2016)

Исследования релятивистских магнетронных систем в микросекундном диапазоне длительностей импульса напряжения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-технических наук; спец. 01.04.20
by: Винтизенко И. И. Игорь Игоревич
Published: (Томск, [Б. и.], 1988)

Использование сильноточных электронных ускорителей для генерации СВЧ-излучения в магнетронных системах: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; Спец. 05.09.04
by: Сулакшин А. С. Александр Степанович
Published: (Томск, [Б. и.], 1979)

Texture and microstructure development in rf magnetron sputter deposited hydroxyapatite coatings; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
Published: (2016)

Радиопередающие устройства сверхвысоких частот: [учебное пособие]
by: Минаев М. И. Михаил Иванович
Published: (Минск, Вышэйшая школа, 1978)

Metal Coatings Deposition Using Hot Target Magnetrons; Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2019)
Published: (2019)

PLLA scaffold modification using magnetron sputtering of the copper target to provide antibacterial properties; Resource-Efficient Technologies; Vol. 3, iss. 2
Published: (2017)

Modification of the cylindrical products outer surface influenced by radial beam of argon ions at automatic mode; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 652 : Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2015)
Published: (2015)

Вып. 62; Радиотехника
Published: (1982)

The energy flux onto substrate during coating deposition using magnetron with liquid metal target; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
by: Bleykher (Bleicher) G. A. Galina Alekseevna
Published: (2016)

Cleaning and sputtering using planar acoustoplasma magnetron; Resource-Efficient Technologies; No 3
Published: (2018)

Phenomenological Model of Dc Magnetron Discharge; 7 International conference on modification of materials with particle beams and plasma flows
Published: (2004)

Characterzations of nitrogen-doped titanium dioxide films prepared by reactive magnetron sputtering deposition; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
by: Pichugin V. F. Vladimir Fyodorovich
Published: (2016)

Modification of the Ceramic Implant Surfaces from Zirconia by the Magnetron Sputtering of Different Calcium Phosphate Targets: A Comparative Study; Materials; Vol. 10, iss. 10
Published: (2018)

Protective Cr coatings with CrN/Cr multilayers for zirconium fuel claddings; Surface and Coatings Technology; Vol. 433
Published: (2022)

High-temperature oxidation of Cr-coated laser beam welds made from E110 zirconium alloy; Corrosion Science; Vol. 195
Published: (2022)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Published: (Томск, 2017)

Модификация элементов релятивистского магнетрона; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 323, № 2 : Математика и механика. Физика
by: Винтизенко И. И. Игорь Игоревич
Published: (2013)

Hot target magnetron sputtering for ferromagnetic films deposition; Surface and Coatings Technology; Vol. 334
Published: (2018)

Magnetron plasma modification by sputtering copper target of electrospun fluoropolymer material to possess bacteriostatic properties; Materials Today: Proceedings; Vol. 22, Pt. 2 : 2nd International Conference on Nanomaterials and Biomaterials (ICNB 2018)
Published: (2020)

The Use of Ferromagnetic Screens in the Cathode of a Pulse-Periodic Relativistic Magnetron; Instruments and Experimental Techniques; Vol. 61, iss. 1
by: Vintizenko I. I. Igor Igorevich
Published: (2018)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Published: (Томск, 2017)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Published: (Томск, [Б. и.], 2017)

Mechanical and Histological Characteristics of Human Tubular Bones after Hyperthermal Treatment; Symmetry; Vol. 15, iss. 1
Published: (2023)