Analysis of work and efficiency increase of of the ILUR-03 installation magnetron system for tubular specimens outer surface modification; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 830 : Energy Fluxes and Radiation Effects 2016

Analysis of work and efficiency increase of of the ILUR-03 installation magnetron system for tubular specimens outer surface modification; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 830 : Energy Fluxes and Radiation Effects 2016

מידע ביבליוגרפי
Parent link:	Journal of Physics: Conference Series Vol. 830 : Energy Fluxes and Radiation Effects 2016.— 2017.— [012058, 4 p.]
מחבר תאגידי:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ)
מחברים אחרים:	Kalin B. A., Volkov N. V., Valikov R. A., Yashin A. S., Krivobokov V. P. Valery Pavlovich, Yanin S. N. Sergey Nikolaevich, Yuriev Yu. N. Yuri Nikolaevich
סיכום:	Title screen The method of material near-surface layers doping by mixing of alloying elements films with ion beam is widely used in science and technology. Three magnetrons with independent power systems, integrated in installation for ion-beam treatment of long-range products ILUR-03, were used as deposition systems. Targets for magnetrons were in the form of disks 60 mm diameter and 5 mm thickness and consisted of the following elements: Al, Fe, Mo, Zr, Cr of purity better than 99.99 at.%. Deposition was performed in argon atmosphere at 1-5 Pa pressure and room temperature in stable current mode at 30-100 mA. Analysis of the obtained films on the surface of cylindrical specimens from zirconium alloys with the outer diameter of 9.15 mm showed high uniformity of coating on length of 300 mm, good adhesion and absence of discontinuities in the films body.
שפה:	אנגלית
יצא לאור:	2017
סדרה:	Modification of materials with particle beams and plasma flows
נושאים:	электронный ресурс труды учёных ТПУ эффективность установки магнетронные системы наружные поверхности трубчатые образцы легирование металлы ионно-лучевая обработка магнетроны пленки циркониевые сплавы адгезия
גישה מקוונת:	http://dx.doi.org/10.1088/1742-6596/830/1/012058 http://earchive.tpu.ru/handle/11683/39483
פורמט:	אלקטרוני Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=654911

פריטים דומים

Analysis of work and increasing of efficiency of the ILUR-03 installation magnetron system for tubular specimens outer surface modification; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
יצא לאור: (2016)

Magnetron Discharge in the Diode with a Liquid-Metal Target; 7 International conference on modification of materials with particle beams and plasma flows
יצא לאור: (2004)

Features of self-sustained magnetron sputtering of evaporating metal target; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
יצא לאור: (2019)

Comparison of glow, arc, and magnetron direct current discharges; Resource-Efficient Technologies; No 2
מאת: Abrahamyan A. S.
יצא לאור: (2019)

Магнетроны: пер. с англ.
מאת: Фиск Д.
יצא לאור: (Москва, Советское радио, 1948)

Компьютерное моделирование магнетрона с целью уменьшения воздействия "паразитных" магнитных полей; Инновационные технологии и экономика в машиностроении
מאת: Ибрагимов Е. А. Егор Артурович
יצא לאור: (2008)

Защитные многослойные Cr/Al2O3 покрытия для циркониевых сплавов от высокотемпературного окисления; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
מאת: Ручкин С. Е.
יצא לאור: (2023)

Использование сильноточных электронных ускорителей для генерации СВЧ-излучения в магнетронных системах: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.04
מאת: Сулакшин А. С. Александр Степанович
יצא לאור: (Томск, [Б. и.], 1979)

Экспериментальные исследования теплового состояния электромагнита магнетрона; Современные техника и технологии
מאת: Митюшкина В. Ю.
יצא לאור: (2000)

Моделирование магнитного поля магнетронной распылительной системы с плоским катодом; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
מאת: Анорин В. Е. Виталий Евгеньевич
יצא לאור: (2022)

Влияние самораспыления на скорости осаждения медных покрытий при работе магнетрона с испаряющейся мишенью; Перспективные материалы конструкционного и медицинского назначения
יצא לאור: (2018)

The formation of stable hydrogen impermeable TiN-based coatings on zirconium alloy Zr1%Nb; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 81 : Radiation-Thermal Effects and Processes in Inorganic Materials
יצא לאור: (2015)

Анализ возможностей магнетронных распылительных систем для высокоскоростного осаждения функциональных покрытий; Современные технологии, экономика и образование
מאת: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
יצא לאור: (2020)

Магнетронная распылительная система на жидкофазных и твёрдых мишенях в сочетании с внешним пучком ускоренных ионов; Современные техника и технологии; Т. 3
מאת: Жукова М. А.
יצא לאור: (2007)

Определение равномерности толщины никелевых покрытий, нанесенных на циркониевые сплавы методом магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
מאת: Цяо Цзинвэнь
יצא לאור: (2017)

Исследования релятивистских магнетронных систем в микросекундном диапазоне длительностей импульса напряжения: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-технических наук; спец.01.04.20
מאת: Винтизенко И. И. Игорь Игоревич
יצא לאור: (Томск, [Б. и.], 1988)

Investigation of deposition efficiency increase mechanisms using pulsed magnetron sputteringsystems with hot target; Plasma Physics and Technology Journal; Vol. 3, № 1
יצא לאור: (2016)

Исследования релятивистских магнетронных систем в микросекундном диапазоне длительностей импульса напряжения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-технических наук; спец. 01.04.20
מאת: Винтизенко И. И. Игорь Игоревич
יצא לאור: (Томск, [Б. и.], 1988)

Texture and microstructure development in rf magnetron sputter deposited hydroxyapatite coatings; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
יצא לאור: (2016)

Использование сильноточных электронных ускорителей для генерации СВЧ-излучения в магнетронных системах: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; Спец. 05.09.04
מאת: Сулакшин А. С. Александр Степанович
יצא לאור: (Томск, [Б. и.], 1979)

Metal Coatings Deposition Using Hot Target Magnetrons; Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2019)
יצא לאור: (2019)

Радиопередающие устройства сверхвысоких частот: [учебное пособие]
מאת: Минаев М. И. Михаил Иванович
יצא לאור: (Минск, Вышэйшая школа, 1978)

PLLA scaffold modification using magnetron sputtering of the copper target to provide antibacterial properties; Resource-Efficient Technologies; Vol. 3, iss. 2
יצא לאור: (2017)

Modification of the cylindrical products outer surface influenced by radial beam of argon ions at automatic mode; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 652 : Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2015)
יצא לאור: (2015)

The energy flux onto substrate during coating deposition using magnetron with liquid metal target; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
מאת: Bleykher (Bleicher) G. A. Galina Alekseevna
יצא לאור: (2016)

Вып. 62; Радиотехника
יצא לאור: (1982)

Phenomenological Model of Dc Magnetron Discharge; 7 International conference on modification of materials with particle beams and plasma flows
יצא לאור: (2004)

Cleaning and sputtering using planar acoustoplasma magnetron; Resource-Efficient Technologies; No 3
יצא לאור: (2018)

Characterzations of nitrogen-doped titanium dioxide films prepared by reactive magnetron sputtering deposition; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
מאת: Pichugin V. F. Vladimir Fyodorovich
יצא לאור: (2016)

Modification of the Ceramic Implant Surfaces from Zirconia by the Magnetron Sputtering of Different Calcium Phosphate Targets: A Comparative Study; Materials; Vol. 10, iss. 10
יצא לאור: (2018)

Protective Cr coatings with CrN/Cr multilayers for zirconium fuel claddings; Surface and Coatings Technology; Vol. 433
יצא לאור: (2022)

High-temperature oxidation of Cr-coated laser beam welds made from E110 zirconium alloy; Corrosion Science; Vol. 195
יצא לאור: (2022)

Hot target magnetron sputtering for ferromagnetic films deposition; Surface and Coatings Technology; Vol. 334
יצא לאור: (2018)

Модификация элементов релятивистского магнетрона; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 323, № 2 : Математика и механика. Физика
מאת: Винтизенко И. И. Игорь Игоревич
יצא לאור: (2013)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
מאת: Юрьева А. В. Алена Викторовна
יצא לאור: (Томск, 2017)

Magnetron plasma modification by sputtering copper target of electrospun fluoropolymer material to possess bacteriostatic properties; Materials Today: Proceedings; Vol. 22, Pt. 2 : 2nd International Conference on Nanomaterials and Biomaterials (ICNB 2018)
יצא לאור: (2020)

Mechanical and Histological Characteristics of Human Tubular Bones after Hyperthermal Treatment; Symmetry; Vol. 15, iss. 1
יצא לאור: (2023)

The Use of Ferromagnetic Screens in the Cathode of a Pulse-Periodic Relativistic Magnetron; Instruments and Experimental Techniques; Vol. 61, iss. 1
מאת: Vintizenko I. I. Igor Igorevich
יצא לאור: (2018)

Local Oscillation Stability in Magnetron with Coupled Cavities; 13 International symposium on high current electronics
מאת: Novikov S. S.
יצא לאור: (2004)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
מאת: Юрьева А. В. Алена Викторовна
יצא לאור: (Томск, 2017)