Влияние плазменно-иммерсионной ионной имплантации титана на структуру, морфологию и состав приповерхностного слоя сплава Zr–1Nb

Bibliographic Details
Parent link:Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования.— , 1995-
№ 4.— 2017.— [С. 74-79]
Corporate Author: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра общей физики (ОФ)
Other Authors: Сутыгина А. Н. Алина Николаевна, Никитенков Н. Н. Николай Николаевич, Кашкаров Е. Б. Егор Борисович, Сыртанов М. С. Максим Сергеевич, Волески Л. Лукаш, Louda P. Petr, Прямушко Т. С. Татьяна Сергеевна, Сыпченко В. С. Владимир Сергеевич, Хашхаш А. М. Адель Мохаммед
Summary:Заглавие с экрана
Представлены результаты исследования плазменно-иммерсионной ионной имплантации титана в сплав Zr–1Nb в течение 5, 15 и 30 мин из плазмы дугового разряда при потенциале смещения 1500 В, подаваемом на образец, с использованием коаксиального плазменного фильтра. Результаты сканирующей электронной и атомно-силовой микроскопии показали, что на поверхности после имплантации образуются зерна размером ~50–100 нм, обнаружены кратеры с латеральными размерами от ~1 мкм до исчезающе малых. Результаты энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии свидетельствуют об образовании оксидной пленки после имплантации титана. Из рентгеноструктурного анализа следует, что имплантированный титан находится в растворенном состоянии, после ионной имплантации наблюдается увеличение отношения параметров с/a кристаллической решетки. Послойный элементный анализ имплантированного слоя методом оптической эмиссионной спектроскопии показал смещение максимума концентрации титана к бoльшим глубинам с ростом времени имплантации.
Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Published: 2017
Subjects:
Online Access:https://elibrary.ru/item.asp?id=28918880
Format: Electronic Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=654750