|
|
|
|
| LEADER |
00000naa0a2200000 4500 |
| 001 |
654636 |
| 005 |
20250911093834.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\network\20272
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\network\20270
|
| 090 |
|
|
|a 654636
|
| 100 |
|
|
|a 20170510d2016 k||y0rusy50 ba
|
| 101 |
0 |
|
|a eng
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 135 |
|
|
|a drcn ---uucaa
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|
| 182 |
|
0 |
|a b
|
| 200 |
1 |
|
|a Mathematical modeling of ion implantation process with accont the diffusion and mechanical waves interaction
|f E. S. Parfenova, A. G. Knyazeva
|
| 203 |
|
|
|a Text
|c electronic
|
| 300 |
|
|
|a Title screen
|
| 320 |
|
|
|a [References: p. 93-94 (6 tit.)]
|
| 463 |
|
1 |
|t Advanced Problems in Mechanics (APM 2016)
|o XLIV International Conference, June 27 - July 2, 2016, St. Petersburg, Russia : book of abstracts
|v [P. 93-94]
|d 2016
|
| 610 |
1 |
|
|a электронный ресурс
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 610 |
1 |
|
|a математическое моделирование
|
| 610 |
1 |
|
|a процессы
|
| 610 |
1 |
|
|a ионная имплантация
|
| 610 |
1 |
|
|a волны
|
| 610 |
1 |
|
|a взаимодействие
|
| 610 |
1 |
|
|a механическое взаимодействие
|
| 610 |
1 |
|
|a диффузии
|
| 700 |
|
1 |
|a Parfenova
|b E. S.
|c Chemical Engineer
|c engineer of Tomsk Polytechnic University
|f 1989-
|g Elena Sergeevna
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\34500
|
| 701 |
|
1 |
|a Knyazeva
|b A. G.
|c Russian physicist
|c Professor of Tomsk Polytechnic University, doctor of physico-mathematical Sciences
|f 1962-
|g Anna Georgievna
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\32712
|9 16597
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
|b Институт физики высоких технологий (ИФВТ)
|b Кафедра физики высоких технологий в машиностроении (ФВТМ)
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\18687
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
|b Институт физики высоких технологий (ИФВТ)
|b Учебно-научная межотраслевая междисциплинарная лаборатория "Моделирование физико-химических процессов в современных технологиях" (УНММЛ "МФХПСТ")
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\19311
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20141010
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20170510
|g RCR
|
| 856 |
4 |
|
|u http://elib.spbstu.ru/dl/2/k16-40.pdf/download/k16-40.pdf?lang=en#page=94
|
| 942 |
|
|
|c CF
|
