Mathematical modeling of ion implantation process with accont the diffusion and mechanical waves interaction

Mathematical modeling of ion implantation process with accont the diffusion and mechanical waves interaction

Bibliographic Details
Parent link:	Advanced Problems in Mechanics (APM 2016): XLIV International Conference, June 27 - July 2, 2016, St. Petersburg, Russia : book of abstracts. [P. 93-94].— , 2016
Main Author:	Parfenova E. S. Elena Sergeevna
Corporate Authors:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Кафедра физики высоких технологий в машиностроении (ФВТМ), Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Учебно-научная межотраслевая междисциплинарная лаборатория "Моделирование физико-химических процессов в современных технологиях" (УНММЛ "МФХПСТ")
Other Authors:	Knyazeva A. G. Anna Georgievna
Summary:	Title screen
Published:	2016
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ математическое моделирование процессы ионная имплантация волны взаимодействие механическое взаимодействие диффузии
Online Access:	http://elib.spbstu.ru/dl/2/k16-40.pdf/download/k16-40.pdf?lang=en#page=94
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=654636

Internet

http://elib.spbstu.ru/dl/2/k16-40.pdf/download/k16-40.pdf?lang=en#page=94