Mathematical modeling of ion implantation process with accont the diffusion and mechanical waves interaction; Advanced Problems in Mechanics (APM 2016)

Mathematical modeling of ion implantation process with accont the diffusion and mechanical waves interaction; Advanced Problems in Mechanics (APM 2016)

Bibliographic Details
Parent link:	Advanced Problems in Mechanics (APM 2016).— 2016.— [P. 93-94]
Main Author:	Parfenova E. S. Elena Sergeevna
Corporate Authors:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Кафедра физики высоких технологий в машиностроении (ФВТМ), Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Учебно-научная межотраслевая междисциплинарная лаборатория "Моделирование физико-химических процессов в современных технологиях" (УНММЛ "МФХПСТ")
Other Authors:	Knyazeva A. G. Anna Georgievna
Summary:	Title screen
Language:	English
Published:	2016
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ математическое моделирование процессы ионная имплантация волны взаимодействие механическое взаимодействие диффузии
Online Access:	http://elib.spbstu.ru/dl/2/k16-40.pdf/download/k16-40.pdf?lang=en#page=94
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=654636

Internet

http://elib.spbstu.ru/dl/2/k16-40.pdf/download/k16-40.pdf?lang=en#page=94