Mathematical modeling of ion implantation process with accont the diffusion and mechanical waves interaction

Mathematical modeling of ion implantation process with accont the diffusion and mechanical waves interaction

Bibliografiske detaljer
Parent link:Advanced Problems in Mechanics (APM 2016): XLIV International Conference, June 27 - July 2, 2016, St. Petersburg, Russia : book of abstracts. [P. 93-94].— , 2016
Hovedforfatter: Parfenova E. S. Elena Sergeevna
Corporate Authors: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Кафедра физики высоких технологий в машиностроении (ФВТМ), Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Учебно-научная межотраслевая междисциплинарная лаборатория "Моделирование физико-химических процессов в современных технологиях" (УНММЛ "МФХПСТ")
Andre forfattere: Knyazeva A. G. Anna Georgievna
Summary:Title screen
Udgivet: 2016
Fag:
электронный ресурс
труды учёных ТПУ
математическое моделирование
процессы
ионная имплантация
волны
взаимодействие
механическое взаимодействие
диффузии
Online adgang:http://elib.spbstu.ru/dl/2/k16-40.pdf/download/k16-40.pdf?lang=en#page=94
Format: Electronisk Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=654636
Beskrivelse
Summary:Title screen

Lignende værker