Effect of material of the crucible on operation of magnetron sputtering system with liquid-phase target; Vacuum; Vol. 141

Podrobná bibliografie
Parent link:	Vacuum.— , 1951- Vol. 141.— 2017.— [P. 135–138]
Korporativní autor:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ)
Další autoři:	Yuryeva A. V. Alena Victorovna, Shabunin A. S. Artem Sergeevich, Korzhenko D. V. Dmitry Vladimirovich, Korneva O. S. Olga Sergeevna, Nikolaev M. V. Mikhail Vyacheslavovich
Shrnutí:	Title screen Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Jazyk:	angličtina
Vydáno:	2017
Témata:	электронный ресурс труды учёных ТПУ магнетронные системы напыления жидкофазная среда высокоскоростная обработка покрытия
On-line přístup:	https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2017.04.001
Médium:	Elektronický zdroj Kapitola
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=654548

Internet