Effect of material of the crucible on operation of magnetron sputtering system with liquid-phase target; Vacuum; Vol. 141

Bibliographic Details
Parent link:	Vacuum.— , 1951- Vol. 141.— 2017.— [P. 135–138]
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ)
Other Authors:	Yuryeva A. V. Alena Victorovna, Shabunin A. S. Artem Sergeevich, Korzhenko D. V. Dmitry Vladimirovich, Korneva O. S. Olga Sergeevna, Nikolaev M. V. Mikhail Vyacheslavovich
Summary:	Title screen Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Language:	English
Published:	2017
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ магнетронные системы напыления жидкофазная среда высокоскоростная обработка покрытия
Online Access:	https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2017.04.001
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=654548

Internet