Effect of material of the crucible on operation of magnetron sputtering system with liquid-phase target; Vacuum; Vol. 141

Effect of material of the crucible on operation of magnetron sputtering system with liquid-phase target; Vacuum; Vol. 141

Bibliographic Details
Parent link:Vacuum.— , 1951-
Vol. 141.— 2017.— [P. 135–138]
Corporate Author: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ)
Other Authors: Yuryeva A. V. Alena Victorovna, Shabunin A. S. Artem Sergeevich, Korzhenko D. V. Dmitry Vladimirovich, Korneva O. S. Olga Sergeevna, Nikolaev M. V. Mikhail Vyacheslavovich
Summary:Title screen
Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Language:English
Published: 2017
Subjects:
электронный ресурс
труды учёных ТПУ
магнетронные системы
напыления
жидкофазная среда
высокоскоростная обработка
покрытия
Online Access:https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2017.04.001
Format: Electronic Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=654548
Description
Summary:Title screen
Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
DOI:10.1016/j.vacuum.2017.04.001

Similar Items