Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ), Yuryeva A. V. Alena Victorovna, Shabunin A. S. Artem Sergeevich, Korzhenko D. V. Dmitry Vladimirovich, Korneva O. S. Olga Sergeevna, & Nikolaev M. V. Mikhail Vyacheslavovich. (2017). Effect of material of the crucible on operation of magnetron sputtering system with liquid-phase target; Vacuum; Vol. 141. 2017. https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2017.04.001
Цитирование в стиле Чикаго (17-е изд.)Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ), Yuryeva A. V. Alena Victorovna, Shabunin A. S. Artem Sergeevich, Korzhenko D. V. Dmitry Vladimirovich, Korneva O. S. Olga Sergeevna, и Nikolaev M. V. Mikhail Vyacheslavovich. Effect of Material of the Crucible on Operation of Magnetron Sputtering System with Liquid-phase Target; Vacuum; Vol. 141. 2017, 2017. https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2017.04.001.
Цитирование MLA (9-е изд.)Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ), et al. Effect of Material of the Crucible on Operation of Magnetron Sputtering System with Liquid-phase Target; Vacuum; Vol. 141. 2017, 2017. https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2017.04.001.