Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ), Yuryeva A. V. Alena Victorovna, Shabunin A. S. Artem Sergeevich, Korzhenko D. V. Dmitry Vladimirovich, Korneva O. S. Olga Sergeevna, & Nikolaev M. V. Mikhail Vyacheslavovich. (2017). Effect of material of the crucible on operation of magnetron sputtering system with liquid-phase target; Vacuum; Vol. 141. 2017. https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2017.04.001
Chicago Style (17th ed.) CitationНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ), Yuryeva A. V. Alena Victorovna, Shabunin A. S. Artem Sergeevich, Korzhenko D. V. Dmitry Vladimirovich, Korneva O. S. Olga Sergeevna, and Nikolaev M. V. Mikhail Vyacheslavovich. Effect of Material of the Crucible on Operation of Magnetron Sputtering System with Liquid-phase Target; Vacuum; Vol. 141. 2017, 2017. https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2017.04.001.
MLA (9th ed.) CitationНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ), et al. Effect of Material of the Crucible on Operation of Magnetron Sputtering System with Liquid-phase Target; Vacuum; Vol. 141. 2017, 2017. https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2017.04.001.