Кластерный анализ процессов в полупроводниковом производстве; Динамика систем, механизмов и машин; Т. 2, № 1
| Parent link: | Динамика систем, механизмов и машин.— , 1995- Т. 2, № 1.— 2016.— [С. 178-181] |
|---|---|
| Autor principal: | |
| Autor Corporativo: | |
| Outros Autores: | , |
| Resumo: | Заглавие с экрана В статье обсуждается проблема моделирования процессов в электронной промышленности как целостной системы. Дается простая методика применения кластерного анализа процессов в полупроводниковом производстве. Приводятся результаты математического моделирования реальных данных с предприятия полупроводниковой индустрии Томска. В качестве независимой переменной выступает процент выхода годных изделий, остальные переменные представляют собой технологические параметры и результаты промежуточного контроля на всем протяжении технологического маршрута. Дается алгоритм выявления групп переменных, значимо влияющих на выход годных изделий, и исключения незначимых переменных для построения прогноза. Результаты имеют практическое значение для решения проблемы анализа больших объемов данных в производстве полупроводниковых приборов. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Idioma: | russo |
| Publicado em: |
2016
|
| Colecção: | Инфокоммуникационные технологии |
| Assuntos: | |
| Acesso em linha: | http://elibrary.ru/item.asp?id=27410992 |
| Formato: | Recurso Electrónico Capítulo de Livro |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=653432 |
MARC
| LEADER | 00000naa0a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 653432 | ||
| 005 | 20250227121319.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\network\18873 | ||
| 090 | |a 653432 | ||
| 100 | |a 20170302d2016 k||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drcn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Кластерный анализ процессов в полупроводниковом производстве |f И. А. Ершов, О. Б. Воскобойникова, О. В. Стукач | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 225 | 1 | |a Инфокоммуникационные технологии | |
| 300 | |a Заглавие с экрана | ||
| 320 | |a [Библиогр.: 3 назв.] | ||
| 330 | |a В статье обсуждается проблема моделирования процессов в электронной промышленности как целостной системы. Дается простая методика применения кластерного анализа процессов в полупроводниковом производстве. Приводятся результаты математического моделирования реальных данных с предприятия полупроводниковой индустрии Томска. В качестве независимой переменной выступает процент выхода годных изделий, остальные переменные представляют собой технологические параметры и результаты промежуточного контроля на всем протяжении технологического маршрута. Дается алгоритм выявления групп переменных, значимо влияющих на выход годных изделий, и исключения незначимых переменных для построения прогноза. Результаты имеют практическое значение для решения проблемы анализа больших объемов данных в производстве полупроводниковых приборов. | ||
| 333 | |a Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса | ||
| 461 | |t Динамика систем, механизмов и машин |d 1995- | ||
| 463 | |t Т. 2, № 1 |v [С. 178-181] |d 2016 | ||
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a контроль качества | |
| 610 | 1 | |a производство | |
| 610 | 1 | |a полупроводники | |
| 610 | 1 | |a интегральные микросхемы | |
| 610 | 1 | |a производительность | |
| 700 | 1 | |a Ершов |b И. А. |g Иван Анатольевич | |
| 701 | 1 | |a Воскобойникова |b О. Б. |c специалист в области информатики и вычислительной техники |c старший преподаватель Томского политехнического университета |f 1990- |g Ольга Борисовна |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\36380 |9 19451 | |
| 701 | 1 | |a Стукач |b О. В. |c специалист в области информатики и вычислительной техники |c профессор Томского политехнического университета, доктор технических наук |f 1966- |g Олег Владимирович |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\28991 | |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) |b Институт кибернетики (ИК) |3 (RuTPU)RU\TPU\col\18397 |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20170302 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u http://elibrary.ru/item.asp?id=27410992 | |
| 942 | |c CF | ||