Кластерный анализ процессов в полупроводниковом производстве
| Parent link: | Динамика систем, механизмов и машин.— , 1995- Т. 2, № 1.— 2016.— [С. 178-181] |
|---|---|
| 1. Verfasser: | |
| Körperschaft: | |
| Weitere Verfasser: | , |
| Zusammenfassung: | Заглавие с экрана В статье обсуждается проблема моделирования процессов в электронной промышленности как целостной системы. Дается простая методика применения кластерного анализа процессов в полупроводниковом производстве. Приводятся результаты математического моделирования реальных данных с предприятия полупроводниковой индустрии Томска. В качестве независимой переменной выступает процент выхода годных изделий, остальные переменные представляют собой технологические параметры и результаты промежуточного контроля на всем протяжении технологического маршрута. Дается алгоритм выявления групп переменных, значимо влияющих на выход годных изделий, и исключения незначимых переменных для построения прогноза. Результаты имеют практическое значение для решения проблемы анализа больших объемов данных в производстве полупроводниковых приборов. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
2016
|
| Schriftenreihe: | Инфокоммуникационные технологии |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | http://elibrary.ru/item.asp?id=27410992 |
| Format: | Elektronisch Buchkapitel |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=653432 |