Кластерный анализ процессов в полупроводниковом производстве; Динамика систем, механизмов и машин; Т. 2, № 1

Кластерный анализ процессов в полупроводниковом производстве

Bibliographic Details
Parent link:Динамика систем, механизмов и машин.— , 1995-
Т. 2, № 1.— 2016.— [С. 178-181]
Main Author: Ершов И. А. Иван Анатольевич
Corporate Author: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт кибернетики (ИК)
Other Authors: Воскобойникова О. Б. Ольга Борисовна, Стукач О. В. Олег Владимирович
Summary:Заглавие с экрана
В статье обсуждается проблема моделирования процессов в электронной промышленности как целостной системы. Дается простая методика применения кластерного анализа процессов в полупроводниковом производстве. Приводятся результаты математического моделирования реальных данных с предприятия полупроводниковой индустрии Томска. В качестве независимой переменной выступает процент выхода годных изделий, остальные переменные представляют собой технологические параметры и результаты промежуточного контроля на всем протяжении технологического маршрута. Дается алгоритм выявления групп переменных, значимо влияющих на выход годных изделий, и исключения незначимых переменных для построения прогноза. Результаты имеют практическое значение для решения проблемы анализа больших объемов данных в производстве полупроводниковых приборов.
Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Language:Russian
Published: 2016
Series:Инфокоммуникационные технологии
Subjects:
электронный ресурс
труды учёных ТПУ
контроль качества
производство
полупроводники
интегральные микросхемы
производительность
Online Access:http://elibrary.ru/item.asp?id=27410992
Format: Electronic Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=653432
Description
Summary:Заглавие с экрана
В статье обсуждается проблема моделирования процессов в электронной промышленности как целостной системы. Дается простая методика применения кластерного анализа процессов в полупроводниковом производстве. Приводятся результаты математического моделирования реальных данных с предприятия полупроводниковой индустрии Томска. В качестве независимой переменной выступает процент выхода годных изделий, остальные переменные представляют собой технологические параметры и результаты промежуточного контроля на всем протяжении технологического маршрута. Дается алгоритм выявления групп переменных, значимо влияющих на выход годных изделий, и исключения незначимых переменных для построения прогноза. Результаты имеют практическое значение для решения проблемы анализа больших объемов данных в производстве полупроводниковых приборов.
Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса

Similar Items