Effect of energy on the formation of flexible hard Al-Si-N films prepared by magnetron sputtering

Bibliographic Details
Parent link:	Vacuum.— , 1951- Vol. 133.— 2016.— [P. 43–45]
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Лаборатория № 1
Other Authors:	Musil Y. Yindrikh, Javdosnak D., Cerstvy R. Radomir, Haviar S., Remnev G. E. Gennady Efimovich, Uglov V. V. Vladimir Vasilievich
Summary:	Title screen Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Published:	2016
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ магнетронное распыление защитные покрытия Al-Si-N
Online Access:	http://dx.doi.org/10.1016/j.vacuum.2016.08.014
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=652991

Description
Summary:	Title screen Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
DOI:	10.1016/j.vacuum.2016.08.014

Similar Items