Исследование плазмы реактивного магнетронного разряда в трехкомпонентной газовой среде зондовым методом; Приборы и техника эксперимента; № 6
| Parent link: | Приборы и техника эксперимента: научный журнал.— , 1956- № 6.— 2016.— [С. 44-49] |
|---|---|
| Corporate Author: | Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ) |
| Other Authors: | Евдокимов К. Е. Кирилл Евгеньевич, Конищев М. Е. Максим Евгеньевич, Сунь Чжилэй, Пичугин В. Ф. Владимир Федорович |
| Summary: | Заглавие с экрана Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Language: | Russian |
| Published: |
2016
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://elibrary.ru/item.asp?id=27256519 |
| Format: | Electronic Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=652670 |
Similar Items
Исследование параметров плазмы реактивного магнетронного разряда с помощью зонда Ленгмюра; Перспективы развития фундаментальных наук
by: Чжилей С.
Published: (2015)
by: Чжилей С.
Published: (2015)
Исследование влияния парциального давления на спектральный состав и процесс распыления реактивного магнетронного разряда плазмы при распылении мишени титана; Перспективы развития фундаментальных наук
by: Сунь Чжилэй
Published: (2014)
by: Сунь Чжилэй
Published: (2014)
Исследование характеристик плазмы ВЧ-магнетронного разряда при распылении мишени на основе гидроксиапатита; Перспективы развития фундаментальных наук
by: Мельников Е. С. Евгений Сергеевич
Published: (2014)
by: Мельников Е. С. Евгений Сергеевич
Published: (2014)
Оптические характеристики плазмы магнетронного разряда в условиях осаждения оксидов и оксинитридов титана; Современные техника и технологии; Т. 3
by: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Published: (2010)
by: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Published: (2010)
Исследование пространственного распределения электрического потенциала в задаче построения феноменологической модели магнетронного разряда; Электроэнергетика, электротехнические системы и комплексы
Published: (2003)
Published: (2003)
Модифицирование полимеров медицинского назначения методом ВЧ-магнетронного напыления; Перспективы развития фундаментальных наук
by: Богомолова Н. Н. Наталья Николаевна
Published: (2013)
by: Богомолова Н. Н. Наталья Николаевна
Published: (2013)
Langmuir probe study of reactive magnetron discharge plasma in a three-component gas atmosphere; Instruments and Experimental Techniques; Vol. 59, iss. 6
Published: (2016)
Published: (2016)
Специальный практикум по газовой электронике и физике плазмы
Published: (Москва, Изд-во Московского ун-та, 1988)
Published: (Москва, Изд-во Московского ун-та, 1988)
Исследование биосовместимых покрытий на основе оксинитридов титана, полученных методом реактивного магнетронного напыления; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
by: Иванова Н. М. Нина Михаиловна
Published: (2014)
by: Иванова Н. М. Нина Михаиловна
Published: (2014)
Покрытия на основе оксинитридов титана, осажденные методом реактивного магнетронного распыления: морфология поверхности и химический состав; Современные техника и технологии; Т. 3
by: Иванова Н. М.
Published: (2014)
by: Иванова Н. М.
Published: (2014)
Микротекстура поверхности покрытий оксинитридов титана, осажденных методов реактивного магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 3
by: Мазурик Е. А.
Published: (2014)
by: Мазурик Е. А.
Published: (2014)
Газовая электроника и физика плазмы в задачах: учебное пособие
by: Швилкин Б. Н. Борис Николаевич
Published: (Москва, Наука, 1978)
by: Швилкин Б. Н. Борис Николаевич
Published: (Москва, Наука, 1978)
Определение осевого распределения газовой температуры высокочастотного факельного разряда; Современные техника и технологии; Т. 3
by: Мискун И. А. Иван Александрович
Published: (2011)
by: Мискун И. А. Иван Александрович
Published: (2011)
Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Published: (Томск, 2016)
by: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Published: (Томск, 2016)
Исследование высокочастотной водородной плазмы при разных мощностях разряда; Перспективы развития фундаментальных наук
by: Ван Яомин
Published: (2014)
by: Ван Яомин
Published: (2014)
Characterization of magnetron plasma using optical spectroscopy and collisional-radiative model of nitrogen; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
Published: (2019)
Published: (2019)
Нанесение электрохромных покрытий методом магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2
by: Шпакова Н. Ю.
Published: (2011)
by: Шпакова Н. Ю.
Published: (2011)
Система управления установкой для напыления покрытий в плазме газового разряда; Приборы и техника эксперимента; № 6
by: Беграмбеков Л. Б.
Published: (2004)
by: Беграмбеков Л. Б.
Published: (2004)
Исследование поперечного извлечения электронов и ионов из плазмы пеннинговского разряда: Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
by: Левшук Л. А.
Published: (Томск, 1969)
by: Левшук Л. А.
Published: (Томск, 1969)
Физика газового разряда: межвузовский сборник
Published: (Казань, КАИ, 1988)
Published: (Казань, КАИ, 1988)
Плазменная установка для нанесения покрытий на поверхность твердых тел "Яшма-2"; Приборы и техника эксперимента; № 4
Published: (2004)
Published: (2004)
Физика газового разряда
by: Райзер Ю. П. Юрий Петрович
Published: (Москва, Наука, 1992)
by: Райзер Ю. П. Юрий Петрович
Published: (Москва, Наука, 1992)
Амплитудная модуляция высокочастотного факельного разряда как способ управления параметрами плазмы: научный отчет
Published: (Томск, Из-во ТПИ, 1976)
Published: (Томск, Из-во ТПИ, 1976)
Исследование электрической прочности диэлектриков после воздействия плазмы разряда; Электроэнергия: от получения и распределения до эффективного использования
by: Сивков А. А. Александр Анатольевич
Published: (2010)
by: Сивков А. А. Александр Анатольевич
Published: (2010)
Диспергирование вязких жидкостей в условиях плазмы ВЧ факельного разряда; Физико-технические проблемы атомной энергетики и промышленности (производство, наука, образование)
by: Каренгин А. Г.
Published: (2004)
by: Каренгин А. Г.
Published: (2004)
Исследование металлической и газовой плазмы дуговых разрядов низкого давления; Известия вузов. Физика; Т. 57, № 3/2 (приложение)
Published: (2014)
Published: (2014)
Phenomenological Model of Dc Magnetron Discharge; 7 International conference on modification of materials with particle beams and plasma flows
Published: (2004)
Published: (2004)
Элементы газовой электрохимии
by: Еремин Е. Н. Евгений Николаевич
Published: (Москва, Изд-во Московского ун-та, 1968)
by: Еремин Е. Н. Евгений Николаевич
Published: (Москва, Изд-во Московского ун-та, 1968)
Использование неравновесной плазмы газового разряда для активации поверхности керамики; Известия вузов. Физика; Т. 54, № 11/3 (приложение)
by: Журавков С. П. Сергей Петрович
Published: (2011)
by: Журавков С. П. Сергей Петрович
Published: (2011)
Исследование электрической прочности диэлектриков после воздействия плазмы разряда; Современные техника и технологии; Т. 1
by: Герасимов Д. Ю. Дмитрий Юрьевич
Published: (2010)
by: Герасимов Д. Ю. Дмитрий Юрьевич
Published: (2010)
Физика газового разряда: Учебное руководство
by: Райзер Ю. П. Юрий Петрович
Published: (Москва, Наука, 1987)
by: Райзер Ю. П. Юрий Петрович
Published: (Москва, Наука, 1987)
Comparison of glow, arc, and magnetron direct current discharges; Resource-Efficient Technologies; No 2
by: Abrahamyan A. S.
Published: (2019)
by: Abrahamyan A. S.
Published: (2019)
Обработка железосодержащеих замасленных шламов в условиях воздушной плазмы высокочастотного факельного разряда; Неделя науки СПбПУ
by: Бабаев Р. Г. Ренат Габилович
Published: (2018)
by: Бабаев Р. Г. Ренат Габилович
Published: (2018)
Экспериментальное определение температурного поля плазмы ВЧ-факельного разряда; Современные техника и технологии; Т. 3
by: Ижойкин Д. А. Дмитрий Александрович
Published: (2014)
by: Ижойкин Д. А. Дмитрий Александрович
Published: (2014)
Генераторы низкотемпературной плазмы
Published: (Москва, Наука, 1969)
Published: (Москва, Наука, 1969)
Исследования электрофизических и оптических свойств плазмы высокочастотного факельного разряда: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.01
by: Федянин В. Я. Виктор Яковлевич
Published: (Томск, 1973)
by: Федянин В. Я. Виктор Яковлевич
Published: (Томск, 1973)
Фазовые превращения в наноструктурных покрытиях на основе Zr-Y-O сформированных методом магнетронного напыления; Перспективы развития фундаментальных наук
by: Бардова А. Е.
Published: (2015)
by: Бардова А. Е.
Published: (2015)
Радиально-магнетронная пушка; Приборы и техника эксперимента; № 1
by: Прудковский Г. П.
Published: (2004)
by: Прудковский Г. П.
Published: (2004)
Структурно-фазовое состояние наноструктурных многослойных покрытий сформированных методом магнетронного напыления; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
by: Бардова А. Е.
Published: (2015)
by: Бардова А. Е.
Published: (2015)
Элементарные процессы в плазме газового разряда
by: Браун С. Санброн
Published: (Москва, Госатомиздат, 1961)
by: Браун С. Санброн
Published: (Москва, Госатомиздат, 1961)
Similar Items
-
Исследование параметров плазмы реактивного магнетронного разряда с помощью зонда Ленгмюра; Перспективы развития фундаментальных наук
by: Чжилей С.
Published: (2015) -
Исследование влияния парциального давления на спектральный состав и процесс распыления реактивного магнетронного разряда плазмы при распылении мишени титана; Перспективы развития фундаментальных наук
by: Сунь Чжилэй
Published: (2014) -
Исследование характеристик плазмы ВЧ-магнетронного разряда при распылении мишени на основе гидроксиапатита; Перспективы развития фундаментальных наук
by: Мельников Е. С. Евгений Сергеевич
Published: (2014) -
Оптические характеристики плазмы магнетронного разряда в условиях осаждения оксидов и оксинитридов титана; Современные техника и технологии; Т. 3
by: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Published: (2010) -
Исследование пространственного распределения электрического потенциала в задаче построения феноменологической модели магнетронного разряда; Электроэнергетика, электротехнические системы и комплексы
Published: (2003)