Исследование плазмы реактивного магнетронного разряда в трехкомпонентной газовой среде зондовым методом

Bibliographic Details
Parent link:Приборы и техника эксперимента: научный журнал.— , 1956-
№ 6.— 2016.— [С. 44-49]
Corporate Author: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ)
Other Authors: Евдокимов К. Е. Кирилл Евгеньевич, Конищев М. Е. Максим Евгеньевич, Сунь Чжилэй, Пичугин В. Ф. Владимир Федорович
Summary:Заглавие с экрана
Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Language:Russian
Published: 2016
Subjects:
Online Access:http://elibrary.ru/item.asp?id=27256519
Format: Electronic Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=652670