Исследование плазмы реактивного магнетронного разряда в трехкомпонентной газовой среде зондовым методом; Приборы и техника эксперимента; № 6
| Parent link: | Приборы и техника эксперимента: научный журнал.— , 1956- № 6.— 2016.— [С. 44-49] |
|---|---|
| Autor corporatiu: | |
| Altres autors: | , , , |
| Sumari: | Заглавие с экрана Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Idioma: | rus |
| Publicat: |
2016
|
| Matèries: | |
| Accés en línia: | http://elibrary.ru/item.asp?id=27256519 |
| Format: | Electrònic Capítol de llibre |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=652670 |
MARC
| LEADER | 00000naa0a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 652670 | ||
| 005 | 20250204162547.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\network\18008 | ||
| 090 | |a 652670 | ||
| 100 | |a 20170123d2016 k||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drcn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Исследование плазмы реактивного магнетронного разряда в трехкомпонентной газовой среде зондовым методом |f К. Е. Евдокимов [и др.] | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 300 | |a Заглавие с экрана | ||
| 320 | |a [Библиогр.: 23 назв.] | ||
| 333 | |a Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса | ||
| 461 | |t Приборы и техника эксперимента |o научный журнал |d 1956- | ||
| 463 | |t № 6 |v [С. 44-49] |d 2016 | ||
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a плазма | |
| 610 | 1 | |a магнетронные разряды | |
| 610 | 1 | |a газовая среда | |
| 701 | 1 | |a Евдокимов |b К. Е. |c физик |c доцент Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук |f 1976- |g Кирилл Евгеньевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\31790 |9 15901 | |
| 701 | 1 | |a Конищев |b М. Е. |c физик |c старший преподаватель Томского политехнического университета |f 1987- |g Максим Евгеньевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\27837 |9 12872 | |
| 701 | 0 | |a Сунь Чжилэй |c физик |c инженер-исследователь Томского политехнического университета |f 1992- |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\46146 | |
| 701 | 1 | |a Пичугин |b В. Ф. |c российский физик |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук |f 1944- |g Владимир Федорович |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\25824 | |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) |b Физико-технический институт (ФТИ) |b Кафедра экспериментальной физики (ЭФ) |3 (RuTPU)RU\TPU\col\21255 |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20200218 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u http://elibrary.ru/item.asp?id=27256519 | |
| 942 | |c CF | ||