APA (7th ed.) Citation

Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ), Евдокимов К. Е. Кирилл Евгеньевич, Конищев М. Е. Максим Евгеньевич, Сунь Чжилэй, & Пичугин В. Ф. Владимир Федорович. (2016). Исследование плазмы реактивного магнетронного разряда в трехкомпонентной газовой среде зондовым методом. 2016.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ), Евдокимов К. Е. Кирилл Евгеньевич, Конищев М. Е. Максим Евгеньевич, Сунь Чжилэй, and Пичугин В. Ф. Владимир Федорович. Исследование плазмы реактивного магнетронного разряда в трехкомпонентной газовой среде зондовым методом. 2016, 2016.

MLA (9th ed.) Citation

Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ), et al. Исследование плазмы реактивного магнетронного разряда в трехкомпонентной газовой среде зондовым методом. 2016, 2016.